Роль пластической деформации в получении нанокремния
The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consist...
Gespeichert in:
| Datum: | 2011 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859471909901565952 |
|---|---|
| author | Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. |
| author_facet | Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. |
| author_sort | Smyntyna, V. A. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-09T20:29:02Z |
| description | The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consists of a disordered silicon layer and a layer of dislocation networks. Silicon dioxide etching and additional chemical treatment allows obtaining nanostructured silicon with given properties. |
| first_indexed | 2025-11-06T02:51:38Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-532 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-12T15:50:02Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-5322026-03-09T20:29:02Z Plastic deformation in nanostructure silicon formation Роль пластической деформации в получении нанокремния Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. nano-structured silicon plastic deformation наноструктурированный кремний пластическая деформация The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consists of a disordered silicon layer and a layer of dislocation networks. Silicon dioxide etching and additional chemical treatment allows obtaining nanostructured silicon with given properties. Проведен качественный и количественный анализ связи пластической деформации поверхности и приповерхностной области кремния с получением наноструктурированного кремния. Показано, что в результате высокотемпературного окисления кремния, а также ряда дополнительных причин, в приповерхностных слоях образуется сложная дефектная область, которая состоит из слоя мелкоблочного кремния и слоя, содержащего дислокационные сетки. Стравливание диоксида кремния и обработка различными избирательными травителями поверхности позволяет получать наноструктурированный кремний с заданной топологией. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011-04-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 Technology and design in electronic equipment; No. 1–2 (2011): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 22-24 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 1–2 (2011): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 22-24 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22/482 Copyright (c) 2011 Smyntyna V. A., Kulinich O. A., Yatsunkiy I. R., Marchuk I. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | наноструктурированный кремний пластическая деформация Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title | Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_alt | Plastic deformation in nanostructure silicon formation |
| title_full | Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_fullStr | Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_full_unstemmed | Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_short | Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_sort | роль пластической деформации в получении нанокремния |
| topic | наноструктурированный кремний пластическая деформация |
| topic_facet | nano-structured silicon plastic deformation наноструктурированный кремний пластическая деформация |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 |
| work_keys_str_mv | AT smyntynava plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT kulinichoa plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT yatsunkiyir plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT marchukia plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT smyntynava rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ AT kulinichoa rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ AT yatsunkiyir rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ AT marchukia rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ |