Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
Technological process features of ohmic contacts formation in semiconductor devices based on А3В5 connections and the general principles of technological modules construction are considered. The results received by means of installations of an electron-beam evaporation of STE EB series and...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.49 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-539 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-5392025-11-05T21:19:44Z The equipment for ohmic contacts formation in semi-conductor devices based on А3В5 connections Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5 Aleksandrov, S. B. Krupal'nik, K. M Kornilov, N. O. Kondratyeva, T. A. semiconductor devices ohmic contacts electron-beam evaporation полупроводниковые приборы омические контакты электронно-лучевое напыление Technological process features of ohmic contacts formation in semiconductor devices based on А3В5 connections and the general principles of technological modules construction are considered. The results received by means of installations of an electron-beam evaporation of STE EB series and installations of fast thermal annealing of STE RTA series are shown. Рассмотрены особенности технологического процесса формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений А3В5, общие принципы построения технологических модулей. Показаны результаты, полученные с помощью установок электронно-лучевого напыления серии STE EB и установок быстрого термического отжига серии STE RTA. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011-04-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.49 Technology and design in electronic equipment; No. 1–2 (2011): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 49-52 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 1–2 (2011): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 49-52 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.49/489 Copyright (c) 2011 Aleksandrov S. B., Krupalnik K. M., Kornilov N. O., Kondratyeva T. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-11-05T21:19:44Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
полупроводниковые приборы омические контакты электронно-лучевое напыление |
| spellingShingle |
полупроводниковые приборы омические контакты электронно-лучевое напыление Aleksandrov, S. B. Krupal'nik, K. M Kornilov, N. O. Kondratyeva, T. A. Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5 |
| topic_facet |
semiconductor devices ohmic contacts electron-beam evaporation полупроводниковые приборы омические контакты электронно-лучевое напыление |
| format |
Article |
| author |
Aleksandrov, S. B. Krupal'nik, K. M Kornilov, N. O. Kondratyeva, T. A. |
| author_facet |
Aleksandrov, S. B. Krupal'nik, K. M Kornilov, N. O. Kondratyeva, T. A. |
| author_sort |
Aleksandrov, S. B. |
| title |
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5 |
| title_short |
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5 |
| title_full |
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5 |
| title_fullStr |
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5 |
| title_full_unstemmed |
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5 |
| title_sort |
оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений a3b5 |
| title_alt |
The equipment for ohmic contacts formation in semi-conductor devices based on А3В5 connections |
| description |
Technological process features of ohmic contacts formation in semiconductor devices based on А3В5 connections and the general principles of technological modules construction are considered. The results received by means of installations of an electron-beam evaporation of STE EB series and installations of fast thermal annealing of STE RTA series are shown. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2011 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.49 |
| work_keys_str_mv |
AT aleksandrovsb theequipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections AT krupalnikkm theequipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections AT kornilovno theequipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections AT kondratyevata theequipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections AT aleksandrovsb oborudovaniedlâformirovaniâomičeskihkontaktovpoluprovodnikovyhpriborovnaosnovesoedinenija3b5 AT krupalnikkm oborudovaniedlâformirovaniâomičeskihkontaktovpoluprovodnikovyhpriborovnaosnovesoedinenija3b5 AT kornilovno oborudovaniedlâformirovaniâomičeskihkontaktovpoluprovodnikovyhpriborovnaosnovesoedinenija3b5 AT kondratyevata oborudovaniedlâformirovaniâomičeskihkontaktovpoluprovodnikovyhpriborovnaosnovesoedinenija3b5 AT aleksandrovsb equipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections AT krupalnikkm equipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections AT kornilovno equipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections AT kondratyevata equipmentforohmiccontactsformationinsemiconductordevicesbasedona3v5connections |
| first_indexed |
2025-11-06T02:51:39Z |
| last_indexed |
2025-11-06T02:51:39Z |
| _version_ |
1850410272216317952 |