Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be m...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.40 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-551 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-5512025-11-13T21:50:27Z Radiation technology for improvement of ohmic contacts to the electronic device elements Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники Konakova, R. V. Kolyadina, Е. Yu. Matveeva, L. А. Nelyuba, P. L. Shynkarenko, V. V. microwave annealing fullerene films metallization фуллереновые пленки металлизация микроволновый отжиг Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented. Исследованы два вида металлизации (Au, Ti) к фуллерен-содержащему материалу. Изучена эффективность микроволнового отжига полимер-фуллеренового слоя с обеими металлизациями, и показано, что СВЧ-обработка снижает суммарное сопротивление структуры в обоих случаях. Показана перспективность использования титановой металлизации по сравнению с золотой, проанализированы механизмы, обуславливающие качество титановой металлизации. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010-12-26 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.40 Technology and design in electronic equipment; No. 5–6 (2010): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 40-42 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5–6 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 40-42 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.40/500 Copyright (c) 2010 Konakova R. V., Kolyadina Е. Yu., Matveeva L. А, Nelyuba P. L., Shynkarenko V. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-11-13T21:50:27Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
фуллереновые пленки металлизация микроволновый отжиг |
| spellingShingle |
фуллереновые пленки металлизация микроволновый отжиг Konakova, R. V. Kolyadina, Е. Yu. Matveeva, L. А. Nelyuba, P. L. Shynkarenko, V. V. Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| topic_facet |
microwave annealing fullerene films metallization фуллереновые пленки металлизация микроволновый отжиг |
| format |
Article |
| author |
Konakova, R. V. Kolyadina, Е. Yu. Matveeva, L. А. Nelyuba, P. L. Shynkarenko, V. V. |
| author_facet |
Konakova, R. V. Kolyadina, Е. Yu. Matveeva, L. А. Nelyuba, P. L. Shynkarenko, V. V. |
| author_sort |
Konakova, R. V. |
| title |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_short |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_full |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_fullStr |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_full_unstemmed |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_sort |
радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_alt |
Radiation technology for improvement of ohmic contacts to the electronic device elements |
| description |
Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2010 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.40 |
| work_keys_str_mv |
AT konakovarv radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT kolyadinaeyu radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT matveevala radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT nelyubapl radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT shynkarenkovv radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT konakovarv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT kolyadinaeyu radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT matveevala radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT nelyubapl radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT shynkarenkovv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki |
| first_indexed |
2025-11-14T03:18:13Z |
| last_indexed |
2025-11-14T03:18:13Z |
| _version_ |
1850410274308227072 |