Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
The properties of CeOx films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys “metallic mirror oxidation” method allows producing films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though, the latter method yields higher...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.54 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859471921525030912 |
|---|---|
| author | Maksimchuk, N. V. Shmyreva, A. N. Borisov, A. V. |
| author_facet | Maksimchuk, N. V. Shmyreva, A. N. Borisov, A. V. |
| author_sort | Maksimchuk, N. V. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-09T20:28:45Z |
| description | The properties of CeOx films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys “metallic mirror oxidation” method allows producing films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though, the latter method yields higher photosensitivity of CeOx films and structures on their base. In the process, the optimal value of the substrate temperature was determined. Obtained data expand the CeOx application potential in microelectronic sensor sphere. |
| first_indexed | 2025-11-14T03:18:13Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-556 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-12T15:50:13Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-5562026-03-09T20:28:45Z Properties and practical application of thin CeOx films Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия Maksimchuk, N. V. Shmyreva, A. N. Borisov, A. V. CeOx thin films biosensor systems photoresistors MIS photodiodes ion-selective field-effect transistors MIS varactors bioluminescence pH registration тонкие пленки CeOx биосенсорные системы фоторезисторы МДП-фотодиоды ионоселективные полевые транзисторы МДП-варакторы биолюминесценция регистрация рН The properties of CeOx films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys “metallic mirror oxidation” method allows producing films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though, the latter method yields higher photosensitivity of CeOx films and structures on their base. In the process, the optimal value of the substrate temperature was determined. Obtained data expand the CeOx application potential in microelectronic sensor sphere. Проведено исследование свойств пленок CeOx, изготовленных разными методами. Сравнительный анализ показал, что метод «окисления металлического зеркала» позволяет получить пленки со значительно лучшими характеристиками, чем метод «взрывного испарения», хотя при использовании последнего метода полученные пленки CeOx и структуры на их основе имеют более высокую фоточувствительность. При этом была определена оптимальная температура подложки. Полученные данные расширяют область применения CeOx-пленок для микроэлектронных сенсоров. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010-12-26 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.54 Technology and design in electronic equipment; No. 5–6 (2010): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 54-59 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5–6 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 54-59 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.54/504 Copyright (c) 2010 Maksimchuk N. V., Shmyreva A. N., Borisov A. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | тонкие пленки CeOx биосенсорные системы фоторезисторы МДП-фотодиоды ионоселективные полевые транзисторы МДП-варакторы биолюминесценция регистрация рН Maksimchuk, N. V. Shmyreva, A. N. Borisov, A. V. Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_alt | Properties and practical application of thin CeOx films |
| title_full | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_fullStr | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_full_unstemmed | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_short | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_sort | свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| topic | тонкие пленки CeOx биосенсорные системы фоторезисторы МДП-фотодиоды ионоселективные полевые транзисторы МДП-варакторы биолюминесценция регистрация рН |
| topic_facet | CeOx thin films biosensor systems photoresistors MIS photodiodes ion-selective field-effect transistors MIS varactors bioluminescence pH registration тонкие пленки CeOx биосенсорные системы фоторезисторы МДП-фотодиоды ионоселективные полевые транзисторы МДП-варакторы биолюминесценция регистрация рН |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.54 |
| work_keys_str_mv | AT maksimchuknv propertiesandpracticalapplicationofthinceoxfilms AT shmyrevaan propertiesandpracticalapplicationofthinceoxfilms AT borisovav propertiesandpracticalapplicationofthinceoxfilms AT maksimchuknv svojstvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ AT shmyrevaan svojstvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ AT borisovav svojstvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ |