Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established tha...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-557 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-5572025-11-13T21:50:27Z The properties of metal contacts on TiO2 thin films produced by reactive magnetron sputtering Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. titanium dioxide film magnetron sputtering диоксид титана пленки магнетронное распыление The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established that indium contact on TiO2 thin films possessed sharply defined ohmic properties. Исследовались вольт-амперные характеристики металлических контактов (Al, Cr, In, Mo, Ti) на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства. Измерения ВАХ металлических контактов проводились с помощью трехзондового метода. Установлено, что контакт индия на тонких пленках TiO2 обладает четко выраженными омическими свойствами. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010-12-26 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60 Technology and design in electronic equipment; No. 5–6 (2010): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 60-62 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5–6 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 60-62 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60/505 Copyright (c) 2010 Brus V. V., Kovaluk Z. D., Maryanchuk P. D., Orletsky I. G., Maystruk E. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-11-13T21:50:27Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
диоксид титана пленки магнетронное распыление |
| spellingShingle |
диоксид титана пленки магнетронное распыление Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| topic_facet |
titanium dioxide film magnetron sputtering диоксид титана пленки магнетронное распыление |
| format |
Article |
| author |
Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. |
| author_facet |
Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. |
| author_sort |
Brus, V. V. |
| title |
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_short |
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_full |
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_fullStr |
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_full_unstemmed |
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_sort |
свойства металлических контактов на пленках tio2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_alt |
The properties of metal contacts on TiO2 thin films produced by reactive magnetron sputtering |
| description |
The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established that indium contact on TiO2 thin films possessed sharply defined ohmic properties. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2010 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60 |
| work_keys_str_mv |
AT brusvv thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT kovalukzd thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maryanchukpd thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT orletskyig thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maystrukev thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT brusvv svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT kovalukzd svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT maryanchukpd svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT orletskyig svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT maystrukev svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT brusvv propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT kovalukzd propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maryanchukpd propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT orletskyig propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maystrukev propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering |
| first_indexed |
2025-11-14T03:18:13Z |
| last_indexed |
2025-11-14T03:18:13Z |
| _version_ |
1850410274999238656 |