Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established tha...
Gespeichert in:
| Datum: | 2010 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2010
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1856543891324403712 |
|---|---|
| author | Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. |
| author_facet | Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. |
| author_sort | Brus, V. V. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2025-11-13T21:50:27Z |
| description | The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established that indium contact on TiO2 thin films possessed sharply defined ohmic properties. |
| first_indexed | 2025-11-14T03:18:13Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-557 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-14T03:18:13Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-5572025-11-13T21:50:27Z The properties of metal contacts on TiO2 thin films produced by reactive magnetron sputtering Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. titanium dioxide film magnetron sputtering диоксид титана пленки магнетронное распыление The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established that indium contact on TiO2 thin films possessed sharply defined ohmic properties. Исследовались вольт-амперные характеристики металлических контактов (Al, Cr, In, Mo, Ti) на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства. Измерения ВАХ металлических контактов проводились с помощью трехзондового метода. Установлено, что контакт индия на тонких пленках TiO2 обладает четко выраженными омическими свойствами. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010-12-26 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60 Technology and design in electronic equipment; No. 5–6 (2010): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 60-62 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5–6 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 60-62 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60/505 Copyright (c) 2010 Brus V. V., Kovaluk Z. D., Maryanchuk P. D., Orletsky I. G., Maystruk E. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | диоксид титана пленки магнетронное распыление Brus, V. V. Kovaluk, Z. D. Maryanchuk, P. D. Orletsky, I. G. Maystruk, E. V. Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title | Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_alt | The properties of metal contacts on TiO2 thin films produced by reactive magnetron sputtering |
| title_full | Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_fullStr | Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_full_unstemmed | Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_short | Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| title_sort | свойства металлических контактов на пленках tio2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления |
| topic | диоксид титана пленки магнетронное распыление |
| topic_facet | titanium dioxide film magnetron sputtering диоксид титана пленки магнетронное распыление |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60 |
| work_keys_str_mv | AT brusvv thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT kovalukzd thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maryanchukpd thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT orletskyig thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maystrukev thepropertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT brusvv svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT kovalukzd svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT maryanchukpd svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT orletskyig svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT maystrukev svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT brusvv propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT kovalukzd propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maryanchukpd propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT orletskyig propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering AT maystrukev propertiesofmetalcontactsontio2thinfilmsproducedbyreactivemagnetronsputtering |