Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established tha...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)
Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Kostin, E. G., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kostin, E. G., та інші
Опубліковано: (2008)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)
Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)
Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Solovyov, O. V., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Solovyov, O. V., та інші
Опубліковано: (2005)
Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Костин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Костин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)
Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
за авторством: Яковін, С.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Яковін, С.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)
Изучение свойств контактов кремния с барьером Шоттки, изготовленных на основе аморфных и поликристаллических различных металлических сплавов
за авторством: Пашаев, И.Г.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Пашаев, И.Г.
Опубліковано: (2012)
Структура полимерных композитов на основе диоксида ванадия и их диэлектрические свойства в диапазоне радиочастот
за авторством: Kolbunov, V. R., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kolbunov, V. R., та інші
Опубліковано: (2015)
Технология изготовления GaAs-диодов Ганна для диапазона коротких миллимитровых длин волн
за авторством: Ivanov, V. N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Ivanov, V. N., та інші
Опубліковано: (2006)
Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
за авторством: Василенко, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Василенко, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)
Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
за авторством: Перекрестов, В.И., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Перекрестов, В.И., та інші
Опубліковано: (2000)
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)
Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
за авторством: Шагинян, Л.Р., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Шагинян, Л.Р., та інші
Опубліковано: (2016)
Теоретические аспекты оптимизации металлических токосъемных контактов солнечных элементов
за авторством: Горский, П.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Горский, П.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Горячие электроны в металлических пленках при низких температурах
за авторством: Шкловский, В.А.
Опубліковано: (2018)
за авторством: Шкловский, В.А.
Опубліковано: (2018)
Свойства толстых плёнок на основе SnO₂ при использовании контактов, изготовленных из Ni₃B-паст
за авторством: Гончар, А.Г., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Гончар, А.Г., та інші
Опубліковано: (2017)
Акустический аналог эффекта гигантского магнитосопротивления в металлических многослойных пленках
за авторством: Окулов, В.И., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Окулов, В.И., та інші
Опубліковано: (1995)
Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)
Photoelectrical analysis of n-TiO₂/p-CdTe heterojunction solar cells
за авторством: Brus, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Brus, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Photoelectrical analysis of n-TiO2/p-CdTe heterojunction solar cells
за авторством: V. V. Brus, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: V. V. Brus, та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние поверхности на перенос заряда в тонких металлических пленках на основе непереходных металлов
за авторством: Бигун, Р.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Бигун, Р.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
за авторством: Бабаченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Бабаченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
за авторством: Бабаченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Бабаченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2019)
Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
за авторством: Буранич, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Буранич, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
за авторством: Глебова, А.Н.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Глебова, А.Н.
Опубліковано: (2016)
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Установка магнетронного нанесения покрытий на листовое стекло
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2003)
СТРУКТУРА КАРБіДОТИТАНОВИХ ТВЕРДИХ СПЛАВІВ, ЩО ОТРИМАНО ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИМ СИНТЕЗОМ
за авторством: Липян, Є.В., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Липян, Є.В., та інші
Опубліковано: (2019)
Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (1998)
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (1998)