Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

Characteristics of single-grid RF ion source with 250 mm beam diameter and 1A beam current have been studied. Energy distribution functions of electrons and ions emitted by the source have been measured. It is shown that the emitted electron current is sufficient for full ion beam current compensati...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2010
Автори: Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010
Теми:
источник ионов
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
компенсация пучка ионов
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.52
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment
id oai:tkea.com.ua:article-597
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-5972025-11-25T17:12:22Z RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией Dudin, S. V. Rafalskyi, D. V. Zykov, A. V. ion source HF inductive discharge ion-optical system ion beam compensation источник ионов ВЧ индукционный разряд ионно-оптическая система компенсация пучка ионов Characteristics of single-grid RF ion source with 250 mm beam diameter and 1A beam current have been studied. Energy distribution functions of electrons and ions emitted by the source have been measured. It is shown that the emitted electron current is sufficient for full ion beam current compensation. The technique of ion to electron current ratio control allowing to change this ratio in wide range is proposed. Using the ICP in the source allows reaching high current density in the low ion energy range, with the possibility of independent control of ion energy and current density. Исследованы характеристики ВЧ-источника ионов с односеточной ИОС с диаметром пучка 250 мм и током пучка до 1 А. Измерены функции распределения по энергии ионов и электронов, эмитируемых источником. Показано, что количество эми­ти­ру­е­мых источником электронов до­ста­точ­но для полной токовой компенсации пучка ионов. Предложен метод управления со­от­но­ше­ни­ем токов ионов и электронов, эмитируемых источником, который позволяет изменять это со­от­но­ше­ние в широких пределах. Использование ВЧ индукционного разряда в источнике по­зво­ли­ло до­стичь высоких плотностей тока в диапазоне низких энергий ионов с возможностью не­за­ви­си­мо­го уп­рав­ле­ния энергией и плотностью тока ионов.  PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010-04-26 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.52 Technology and design in electronic equipment; No. 2 (2010): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 52-55 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 2 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 52-55 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.52/542 Copyright (c) 2010 Dudin S. V., Rafalskyi D. V., Zykov A. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
institution Technology and design in electronic equipment
baseUrl_str
datestamp_date 2025-11-25T17:12:22Z
collection OJS
language Ukrainian
topic источник ионов
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
компенсация пучка ионов
spellingShingle источник ионов
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
компенсация пучка ионов
Dudin, S. V.
Rafalskyi, D. V.
Zykov, A. V.
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
topic_facet ion source
HF inductive discharge
ion-optical system
ion beam compensation
источник ионов
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
компенсация пучка ионов
format Article
author Dudin, S. V.
Rafalskyi, D. V.
Zykov, A. V.
author_facet Dudin, S. V.
Rafalskyi, D. V.
Zykov, A. V.
author_sort Dudin, S. V.
title Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
title_short Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
title_full Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
title_fullStr Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
title_full_unstemmed Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
title_sort широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
title_alt RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation
description Characteristics of single-grid RF ion source with 250 mm beam diameter and 1A beam current have been studied. Energy distribution functions of electrons and ions emitted by the source have been measured. It is shown that the emitted electron current is sufficient for full ion beam current compensation. The technique of ion to electron current ratio control allowing to change this ratio in wide range is proposed. Using the ICP in the source allows reaching high current density in the low ion energy range, with the possibility of independent control of ion energy and current density.
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
publishDate 2010
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.52
work_keys_str_mv AT dudinsv rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation
AT rafalskyidv rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation
AT zykovav rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation
AT dudinsv širokoaperturnyjvysokočastotnyjistočnikionovnizkojénergiisélektronnojkompensaciej
AT rafalskyidv širokoaperturnyjvysokočastotnyjistočnikionovnizkojénergiisélektronnojkompensaciej
AT zykovav širokoaperturnyjvysokočastotnyjistočnikionovnizkojénergiisélektronnojkompensaciej
first_indexed 2025-12-02T15:19:20Z
last_indexed 2025-12-02T15:19:20Z
_version_ 1850410281845391360

Схожі ресурси