Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
Characteristics of single-grid RF ion source with 250 mm beam diameter and 1A beam current have been studied. Energy distribution functions of electrons and ions emitted by the source have been measured. It is shown that the emitted electron current is sufficient for full ion beam current compensati...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.52 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |