Buchumschlag

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

Characteristics of single-grid RF ion source with 250 mm beam diameter and 1A beam current have been studied. Energy distribution functions of electrons and ions emitted by the source have been measured. It is shown that the emitted electron current is sufficient for full ion beam current compensati...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2010
Hauptverfasser:	Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010
Schlagworte:	источник ионов ВЧ индукционный разряд ионно-оптическая система компенсация пучка ионов
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.2.52
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
von: Dudin, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Параметрическое черенковское излучение – от предсказания до применения
von: Щагин, А.В.
Veröffentlicht: (2004)

ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИМПУЛЬСНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ СИСТЕМ ГАЗООЧИСТКИ
von: Богуславский, Л.З., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Измерительный преобразователь тока с электронной компенсацией погрешности
von: Варский, Г.М.
Veröffentlicht: (2009)

Термоэлектрический источник питания для электронного медицинского термометра
von: Anatychuk, L. I., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Канал транспортировки ионов низкой энергии для проекта NICA-MPD
von: Александров, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Магний-воздушный первичный источник тока
von: Korolenko, S. D., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Спектр поглощения тонких пленок твердых растворов KPb₂(Cl₁–xBrx)₅
von: Милославский, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Phonon excitations in the quasi-one-dimensional Haldane phase of SrNi₂V₂O₈
von: Kurnosov, V., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование хромового бората CrBO₃ методом оптической и длинноволновой спектроскопии
von: Молчанова, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Квантовый магнитотранспорт в структурах n-InGaAs/GaAs при изменении концентрации электронов под воздействием инфракрасного излучения
von: Арапов, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Влияние низкотемпературной аргоновой матрицы на ИК спектры и структуру конформационно лабильных молекул N-ацетилглицина
von: Степаньян, С.Г., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Конформационная структура молекул аденозина, изолированных в низкотемпературных матрицах Ar
von: Иванов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Рамановское рассеяние света в мультиферроике SmFe₃(BO₃)₄
von: Песчанский, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Спектроскопические исследования кластерной структуры н-гексанола, изолированного в аргоновой матрице
von: Дорошенко, И.Ю.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние динамической пластической деформации на флуктуационную стадию ползучести монокристаллов β-олова при 1,6 К
von: Кириченко, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Особенности колебательных спектров молекул аденина в матрицах Kr, Ar, Ne
von: Иванов, А.Ю.
Veröffentlicht: (2013)

Люминесценция твердых растворов Co₁₋xZnxO при межзонном возбуждении
von: Груздев, Н.Б., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
von: Юнакова, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2015)

ИК спектрометрические исследования тонких пленок криовакуумных конденсатов метана и смеси метан–вода
von: Дробышев, А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Электронная структура и оптические свойства соединений GdNi₂Mnx
von: Князев, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

МОДЕЛИРОВАНИЕ РЕЖИМОВ РАБОТЫ РЕЗОНАНСНОГО ИНВЕРТОРА КОМБИНИРОВАННОЙ СТРУКТУРЫ С КОНТУРОМ СТАБИЛИЗАЦИИ НАПРЯЖЕНИЯ
von: Саратовский, Р.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ РАСЧЕТ ФИЛЬТРО-КОМПЕНСИРУЮЩЕГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С НАКОПИТЕЛЬНЫМ АККУМУЛЯТОРОМ
von: Миколаец , Д.А.
Veröffentlicht: (2012)

Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
von: Мордик, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2006)

ОСОБЛИВОСТІ ВПЛИВУ ВИЩИХ ГАРМОНІК НА ВИБІР ПАРАМЕТРІВ СТРУМОПРОВОДУ ЦЕХОВИХ МЕРЕЖ
von: Коцур, М.І., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2
von: Марченко, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Стационарный плазменный источник тяжелых ионов для имитационных исследований на сепараторе
von: Юферов, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Взаимодействие ионов меди (II) при низкой концентрации с полиакриловой кислотой в водном растворе
von: Кисленко, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2007)

АЛГОРИТМ УПРАВЛЕНИЯ ОБЪЕКТОМ С КОМПЕНСАЦИЕЙ ТРАНСПОРТНОГО ЗАПАЗДЫВАНИЯ
von: Жуков , С.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Высокочастотный ВТСП сквид для магнитной микроскопии
von: Хвостов, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2003)

КОМПЛЕКСНАЯ ДЕМАГНЕТИЗАЦИЯ ТРУБ ПРИ ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ СВАРКЕ
von: Волохов , С.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Высокочастотный электронный ток через нестационарный туннельный переход
von: Абдулкадыров, Д.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

СИСТЕМЫ ФАЗОВОЙ АВТОПОДСТРОЙКИ ЧАСТОТЫ ДЛЯ ТРАНЗИСТОРНЫХ РЕЗОНАНСНЫХ ИНВЕРТОРОВ НАПРЯЖЕНИЯ УСТАНОВОК ИНДУКЦИОННОГО НАГРЕВА
von: Гуцалюк, В.Я., et al.
Veröffentlicht: (2015)

АЛГОРИТМ УПРАВЛЕНИЯ КОМПЛЕКСОМ ВЕСОВОГО ДОЗИРОВАНИЯ С КОМПЕНСАЦИЕЙ ТРАНСПОРТНОГО ЗАПАЗДЫВАНИЯ
von: Жуков, С.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Алгоритм управления комплексом весового дозирования с компенсацией транспортного запаздывания
von: Жуков, С.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Высокочастотный импеданс слоистых проводников в сильном магнитном поле
von: Песчанский, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Высокочастотный импеданс органических металлов в сильном магнитном поле
von: Гохфельд, В.М., et al.
Veröffentlicht: (1998)

Высокочастотный спонтанный электромагнитный шум литосферы и томографические системы
von: Шуман, В.Н.
Veröffentlicht: (2014)

Высокоэффективные катодные элементы для газоразрядных источников света
von: Sevastyanov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Вторичный эталон яркости на базе галогенной лампы с рассеивателем
von: Mikheenko, L. А., et al.
Veröffentlicht: (2008)