Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы

Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы

The experimental investigations of principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system with ICP discharge are reported. Two modes of ions extraction are discovered: beam regime and plasma regime with transition at some critical potential of inductively coupled plasma. Numer...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2009
Автори: Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
формирование пучка ионов
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.42
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment
id oai:tkea.com.ua:article-625
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-6252025-11-28T17:21:18Z Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы Dudin, S. V. Rafalskyi, D. V. HF inductive discharge ion-optical system ion beam formation ВЧ индукционный разряд ионно-оптическая система формирование пучка ионов The experimental investigations of principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system with ICP discharge are reported. Two modes of ions extraction are discovered: beam regime and plasma regime with transition at some critical potential of inductively coupled plasma. Numerical estimations of critical potential for different conditions are reported. It is shown that the single-grid low energy ion source is capable of electron flow generation. The results obtained in this paper can be useful for the ion/electron flow ratio control. Экспериментально изучены закономерности формирования пуч­ка ио­нов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы с ис­поль­зо­ва­ни­ем ВЧ ин­дук­ци­он­но­го ис­точ­ни­ка ио­нов. Об­на­ру­же­но два ре­жи­ма из­вле­че­ния ио­нов: пуч­ко­вый и плаз­мен­ный, пе­ре­ход меж­ду ко­то­ры­ми про­ис­хо­дит при не­ко­то­ром кри­ти­чес­ком по­тен­циа­ле плаз­мы ин­дук­ци­он­но­го раз­ря­да. Про­ве­де­ны чис­лен­ные оцен­ки, по­зво­ля­ю­щие оп­ре­де­лить ве­ли­чи­ну кри­ти­чес­ко­го по­тен­циа­ла для раз­лич­ных ус­ло­вий. По­ка­за­но, что ис­точ­ник ио­нов с од­но­се­точ­ной ИОС при низ­ких энер­ги­ях пуч­ка мо­жет слу­жить так­же и ис­точ­ни­ком элек­тро­нов. По­лу­чен­ные в дан­ной ра­бо­те за­ко­но­мер­нос­ти поз­во­ля­ют це­ле­нап­рав­лен­но уп­рав­лять со­от­но­ше­ни­ем по­то­ков ио­нов и элек­тро­нов на об­ра­ба­ты­вае­мую по­верх­ность. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009-12-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.42 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2009): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 42-45 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2009): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 42-45 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.42/568 Copyright (c) 2009 Dudin S. V., Rafalskyi D. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
institution Technology and design in electronic equipment
baseUrl_str
datestamp_date 2025-11-28T17:21:18Z
collection OJS
language Ukrainian
topic ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
формирование пучка ионов
spellingShingle ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
формирование пучка ионов
Dudin, S. V.
Rafalskyi, D. V.
Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы
topic_facet HF inductive discharge
ion-optical system
ion beam formation
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
формирование пучка ионов
format Article
author Dudin, S. V.
Rafalskyi, D. V.
author_facet Dudin, S. V.
Rafalskyi, D. V.
author_sort Dudin, S. V.
title Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы
title_short Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы
title_full Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы
title_fullStr Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы
title_full_unstemmed Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы
title_sort закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы
title_alt Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system
description The experimental investigations of principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system with ICP discharge are reported. Two modes of ions extraction are discovered: beam regime and plasma regime with transition at some critical potential of inductively coupled plasma. Numerical estimations of critical potential for different conditions are reported. It is shown that the single-grid low energy ion source is capable of electron flow generation. The results obtained in this paper can be useful for the ion/electron flow ratio control.
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
publishDate 2009
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.42
work_keys_str_mv AT dudinsv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem
AT rafalskyidv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem
AT dudinsv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkojénergiipripomoŝiodnosetočnojionnooptičeskojsistemy
AT rafalskyidv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkojénergiipripomoŝiodnosetočnojionnooptičeskojsistemy
first_indexed 2025-12-02T15:19:24Z
last_indexed 2025-12-02T15:19:24Z
_version_ 1850410286427668480

Схожі ресурси