Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors'...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | Altuchov, A. A., Mityagin, A. Yu., Moguchev, A. V., Mityagina, A. B. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.4.27 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
-
Территориальные преобразования как процессы (на примере преобразования муниципальных образований в России)
за авторством: Чертков, А.Н.
Опубліковано: (2011) -
Фазові рівноваги в системі Tl₂Те—SnТе—PbTe
за авторством: Філеп, М.Й., та інші
Опубліковано: (2012) -
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010) -
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009) -
Те десять лет... Ренессанс харьковского хазароведения
за авторством: Бондарь, К.В.
Опубліковано: (2017)