Новий підхід до підвищення чутливості газового сенсора на основі плівок нанокристалічного карбіду кремнію
It was shown the possibility of increasing the sensitivity of a gas sensor based on nanocrystalline SiC films by using a scheme of a two-component sensing element, one of which is an n-nc-SiC film with electronic conductivity, and the second is an p-nc-SiC film with hole conductivity. It is shown th...
Збережено в:
| Дата: | 2021 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2021
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2021.5-6.11 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |