Зображення обкладинки

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов

The article displays the results of investigation of influence of low energy (3—6 keV) argon ion etching of p-type silicon on electrically active defects (EAD) formation. The photosensitivity of Schottky diodes on etched silicon surface is increased, reaching maximum values in sites of EAD. The etch...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Popov, V. M., Shustov, Yu. M., Klimenko, A. S., Pokanevich, A. P.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	электрически активные дефекты кремний облучение ионами растровая электронная микроскопия фоточувствительность диоды Шоттки
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.4.48
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Обеспечение заданной длины проводников в САПР TopoR
за авторством: Lysenko, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Объемные оптические покрытия из халькогенидных стекол для полупроводниковых источников ИК-излучения
за авторством: Kabatsiy, V. М.
Опубліковано: (2009)

Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
за авторством: Altuchov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)

CFD-моделирование радиатора для воздушного охлаждения микропроцессоров в ограниченном пространстве
за авторством: Trofimov, V. E., та інші
Опубліковано: (2016)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Структура 28-ми 9-ти вершинних графів-обструкцій тора
за авторством: Петренюк, Володимир Ілліч
Опубліковано: (2017)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Микропроцессоры звездообразной структуры с расширенными функциональными возможностями
за авторством: Sinegub, N. I., та інші
Опубліковано: (2010)

Микрополосковые электромагнитные кристаллы с низкоимпедансными неоднородностями
за авторством: Nazarko, A. I.
Опубліковано: (2012)

Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Метод считывания и обработки стационарных интерференционных картин
за авторством: Ilyin, V. N., та інші
Опубліковано: (2009)

ВЛАСТИВОСТІ МОНОЦИТАРНИХ ДЕНДРИТНИХ КЛІТИН, НАВАНТАЖЕНИХ ЛІЗАТAМИ ПУХЛИННИХ КЛІТИН, ОБРОБЛЕНИХ ЦИТОТОКСИЧНИМИ ПЕПТИДАМИ
за авторством: KHRANOVSKA, N., та інші
Опубліковано: (2024)

Гибкие фольгированные диэлектрики: классификация и анализ направлений применения и совершенствования
за авторством: Vorobyev, A. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Схемотехника источников питания для импульсно-дуговой сварки с хаотическими колебаниями тока
за авторством: Sidorets, V. N., та інші
Опубліковано: (2014)

Нанокомпозиты на основе опаловых матриц с кристаллическими ферротороидальными мультиферроиками
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2012)

Метод расчета сопротивления электродов тонкопленочного резистора
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2009)

Математические модели формирования химической связи твердых растворов CdSb–ZnSb
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Поглотители СВЧ-энергии с высокой теплопроводностью на основе AlN и SiC с добавками молибдена
за авторством: Chasnyk, V. I., та інші
Опубліковано: (2014)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Матричные кремниевые микрокатоды для автоэмиссионных дисплеев
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Способы повышения эффективности многоканального фильтра доплеровского сигнала
за авторством: Vasilevsky, V. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)

ПОРІВНЯННЯ ПІДХОДІВ ДО ПРОГНОЗУВАННЯ НЕТТО-НАВАНТАЖЕННЯ ВІРТУАЛЬНИХ ОБ’ЄДНАНЬ ЕНЕРГЕТИЧНИХ ОБ’ЄКТІВ
за авторством: Мірошник, В.О., та інші
Опубліковано: (2025)

ІНТЕГРАЛЬНІ МАКРОМОДЕЛІ ДИНАМІЧНИХ ОБ’ЄКТІВ
за авторством: Ситник, Олександр Олексійович, та інші
Опубліковано: (2013)

Об одном семействе модификаций r-алгоритма
за авторством: Журбенко, Николай Георгиевич
Опубліковано: (2017)

Об’єктне моделювання ресурсної теорії уваги
за авторством: Chmyr, I. O., та інші
Опубліковано: (2019)

К ВОПРОСУ ОБ ОБРАЗОВАНИИ ТЕХНОГЕННЫХ СРОСТКОВ
за авторством: Губин, Г. В., та інші
Опубліковано: (2018)

Цілі та об’єкти науки про сервіси
за авторством: Petrenko, O. O.
Опубліковано: (2015)

УСУНЕННЯ ЗАГРОЗ ЗАБЕЗПЕЧЕННЯ ТЕПЛОМ ІНФРАСТРУКТУРНИХ ОБ’ЄКТІВ
за авторством: Demchenko, V.
Опубліковано: (2017)

ОЦІНЮВАННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ РОЗВИТКУ ОБ’ЄДНАНИХ ТЕРИТОРІАЛЬНИХ ГРОМАД
за авторством: Zablodska, I.V., та інші
Опубліковано: (2017)

РЕГІОНАЛЬНІ КЛАСТЕРИ ЯК ОБ’ЄКТ СТРАТЕГІЧНОЇ КООРДИНАЦІЇ
за авторством: Galgash, R.А.
Опубліковано: (2016)

ЕЛЕКТРОЕНЕРГЕТИЧНА СИСТЕМА ЯК ОБ'ЄКТ НЕЛІНІЙНОЇ ЕЛЕКТРОЕНЕРГЕТИКИ
за авторством: Авраменко, В.Н.
Опубліковано: (2017)

Морфологічна модель підземних переходів водних об’єктів
за авторством: Pankratova, Nataliia, та інші
Опубліковано: (2021)

ЩОДО ПРЕДМЕТУ ДОГОВОРУ ОРЕНДИ ВОДНИХ ОБ’ЄКТІВ
за авторством: Voronin, V.V.
Опубліковано: (2009)

СУБ’ЄКТНО-ОБ’ЄКТНИЙ СКЛАД КОНЦЕСІЙНИХ ПРАВОВІДНОСИН
за авторством: Piligrim, A.S.
Опубліковано: (2012)

СПОСІБ ПАРАМЕТРИЧНОГО КОНТРОЛЮ ЧИСЕЛЬНОГО МОДЕЛЮВАННЯ ДИНАМІЧНИХ ОБ'ЄКТІВ
за авторством: Верлань, Андрей Анатольевич
Опубліковано: (2011)

Оцінка подібності структурних об’єктів як множин компонент
за авторством: Gorohovatsky, V. A.
Опубліковано: (2017)