Зображення обкладинки

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур

A design and technological analysis of the scheme for measuring ellipsometric parameters, calculating the refractive index and film thickness has been carried out. A block diagram has been developed and a prototype instrument has been created for monitoring the degree of uniformity of film structure...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Makara, V. A., Odarych, V. A., Kepich, T. Yu., Preobragenskaya, T. D., Rudenko, O. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	эллипсометрия методы измерения параметров пленок контроль однородности
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.3.40
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Методика калибровки УФ-радиометров энергетической освещенности
за авторством: Doctorovich, I. V., та інші
Опубліковано: (2008)

МАГНИТНОЕ ПОЛЕ ЛИНИЙ ЭЛЕКТРОПЕРЕДАЧИ И МЕТОДЫ ЕГО СНИЖЕНИЯ ДО БЕЗОПАСНОГО УРОВНЯ
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2013)

МАГНИТНОЕ ПОЛЕ ЛИНИЙ ЭЛЕКТРОПЕРЕДАЧИ И МЕТОДЫ ЕГО СНИЖЕНИЯ ДО БЕЗОПАСНОГО УРОВНЯ
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)

МЕТОДЫ СНИЖЕНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ ВОЗДУШНЫХ ЛИНИЙ ЭЛЕКТРОПЕРЕДАЧИ ЗА ПРЕДЕЛАМИ ОХРАННЫХ ЗОН
за авторством: Пелевин, Д.Е.
Опубліковано: (2014)

Классификация методов измерения вольт-амперных характеристик полупроводниковых приборов
за авторством: Iermolenko, Ia. O.
Опубліковано: (2014)

Цифровой метод измерения коэффициента направленного отражения поверхности
за авторством: Ivanchenko, I. A., та інші
Опубліковано: (2010)

Алгоритм выбора интервала пересчета параметров объектов контроля и управления в АСУ ТП
за авторством: Tynynyka, A. N.
Опубліковано: (2016)

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ВЫБОР КОНСТРУКТИВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ТЯГОВОГО СИНХРОННОГО ЭЛЕКТРОДВИГАТЕЛЯ С ПОСТОЯННЫМИ МАГНИТАМИ
за авторством: Васьковский, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

ТЕХНОЛОГИИ НЕИНВАЗИВНЫХ ОПТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УРОВНЯ ГЛЮКОЗЫ В КРОВИ
за авторством: Зильгараева, А. К., та інші
Опубліковано: (2019)

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИМПУЛЬСНОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ ДЛЯ АДАПТИВНОГО СПОСОБА ИЗМЕРЕНИЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
за авторством: Ермоленко , Е.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Локальная оценка параметров траектории и обнаружение двужущихся целей на фоне релеевской помехи
за авторством: Prokopenko, I. G., та інші
Опубліковано: (2014)

Методика расчета параметров УЗ-преобразователей повышенной частоты
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2013)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)

Методы и средства компьютерного проектирования в сети Интернет
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2008)

ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ МОНИТОРИНГА МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ ЭЛЕКТРОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
за авторством: Мазманян, Р.О.
Опубліковано: (2019)

УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Обнаружение аномальных измерений при обработке данных малого объема
за авторством: Popukaylo, V. S.
Опубліковано: (2016)

Оптико-электронное устройство в системе контроля габаритов груза железнодорожного состава
за авторством: Dubeshko, A. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Математическая модель процесса избыточных измерений при непрерывном воздействии измеряемой физической величины на чувствительный элемент датчика
за авторством: Redko, V. V.
Опубліковано: (2011)

Методы моделирования первичных преобразователей и алгоритмы инверсной обработки сигналов акустической эмиссии
за авторством: Сагатов, Міразіз Варісович, та інші
Опубліковано: (2015)

Тепловая математическая модель полупроводниковых приборов при измерении ВАХ импульсным способом
за авторством: Yermolenko, Ye. O., та інші
Опубліковано: (2012)

ЛІНІЙНА МОДЕЛЬ ГЕОКОСМІЧНОГО ПРОГНОЗУВАННЯ
за авторством: Отелбаев, Мухтарбай, та інші
Опубліковано: (2012)

Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
за авторством: Kasimov, F. D., та інші
Опубліковано: (2009)

ДЕЯКІ ОСОБЛИВОСТІ ЗАДАЧІ ОБРОБКИ РЕЗУЛЬТАТІВ СПОСТЕРЕЖЕННЯ В ІНТЕГРАЛЬНІЙ ПОСТАНОВЦІ
за авторством: Мосенцова, Людмила Викторовна, та інші
Опубліковано: (2013)

Радиометрический приемный комплекс и пути снижения вносимой им погрешности в радиометрические измерения
за авторством: Pylypenko, A. M., та інші
Опубліковано: (2015)

Инвариантность текущего энергетического Фурье-спектра действительных дискретных сигналов на конечных интервалах
за авторством: Ponomarev, V. A., та інші
Опубліковано: (2014)

РОЗВ'ЯЗУВАННЯ ПРЯМОЇ І ОБЕРНЕНОЇ ЗАДАЧ ДЛЯ ЛІНІЙНИХ ДЕФЕРЕНЦІАЛЬНИХ РІВНЯНЬ ЗМІШАНОГО ПОРЯДКУ НА ОСНОВІ S-ПЕРЕТВОРЕННЯ
за авторством: Васильев, Алексей Всеволодович
Опубліковано: (2010)

РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ УНИВЕРСАЛЬНОГО ФИЛЬТРА ГАРМОНИК СИСТЕМЫ ТИРИСТОРНЫЙ РЕГУЛЯТОР ТОКА–ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ СЕПАРАТОР РОТОРНОГО ТИПА
за авторством: Волков, І.В., та інші
Опубліковано: (2017)

ЧАСТОТНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ ТАНГЕНСА УГЛА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОТЕРЬ ОТ СТЕПЕНИ УВЛАЖНЕНИЯ ПОЛИЭТИЛЕНОВОЙ ИЗОЛЯЦИИ КАБЕЛЕЙ
за авторством: Беспрозванных , А.В., та інші
Опубліковано: (2016)

АНАЛІТИЧНІ ОСНОВИ ОБРОБКИ СИГНАЛІВ ІЗ ВРАХУВАННЯМ ІНФОРМАЦІЙНОЇ НАДЛИШКОВОСТІ
за авторством: Наконечная, Оксана Андреевна
Опубліковано: (2009)

Математичне моделювання нелінійних процесів динаміки в'язкопружних пластин в потоці газу
за авторством: Верлань, Анатолій Федорович, та інші
Опубліковано: (2014)

Эффективность методов синтеза последовательностей со свойством «не более одного совпадения»
за авторством: Nevrev, A. I., та інші
Опубліковано: (2016)

МАТЕМАТИЧНІ МОДЕЛІ ПІД-КОНТРОЛЕРІВ ДИНАМІЧНИХ СИСТЕМ В РІЗНИХ БАЗИСАХ
за авторством: Васильев, Алексей Всеволодович
Опубліковано: (2011)

ПРО ОДИН СПОСІБ КЛАСИФІКАЦІЇ СТАТИСТИЧНИХ ВИМІРЮВАЛЬНИХ ЗАДАЧ
за авторством: Мирошниченко, Иван Владимирович
Опубліковано: (2012)

Логические методы расчета надежности
за авторством: Levin, V. I.
Опубліковано: (2010)