Зображення обкладинки

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур

A design and technological analysis of the scheme for measuring ellipsometric parameters, calculating the refractive index and film thickness has been carried out. A block diagram has been developed and a prototype instrument has been created for monitoring the degree of uniformity of film structure...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Makara, V. A., Odarych, V. A., Kepich, T. Yu., Preobragenskaya, T. D., Rudenko, O. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	эллипсометрия методы измерения параметров пленок контроль однородности
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.3.40
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
за авторством: Макара, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Стабильность характеристик медных пленочных термопреобразователей сопротивления
за авторством: Брайловский, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Классификация методов измерения вольт-амперных характеристик полупроводниковых приборов
за авторством: Iermolenko, Ia. O.
Опубліковано: (2014)

Прибор для экспресс-измерений коэффициента теплопроводности строительных материалов (ИТ-8)
за авторством: Декуша, О.Л.
Опубліковано: (2004)

Устройства измерения температуры на основе пленочных термоэлектрических сенсоров
за авторством: Капитанов, Н.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Оптико-электронное устройство в системе контроля габаритов груза железнодорожного состава
за авторством: Dubeshko, A. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Способ измерения массы (веса) движущихся объектов
за авторством: Скубилин, М.Д.
Опубліковано: (2003)

Самопишущий дистанционный прибор для измерения температуры и влажности в гнездах птиц
за авторством: Кожевникова, Ю.Я.
Опубліковано: (1975)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Цифровой метод измерения коэффициента направленного отражения поверхности
за авторством: Ivanchenko, I. A., та інші
Опубліковано: (2010)

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИМПУЛЬСНОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ ДЛЯ АДАПТИВНОГО СПОСОБА ИЗМЕРЕНИЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
за авторством: Ермоленко , Е.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Оценка степени коррозионной агрессивности грунтов на участках прохождения трубопроводов по комплексному физико-химическому критерию
за авторством: Медведык, О.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Измерение влияния магнитного поля на термо-эдс в тонких пленках без создания градиента температур
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2006)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Методы низкочастотной акустической дефектоскопии с сухим контактом в системе «преобразователь–изделие»
за авторством: Бондаренко, А.И.
Опубліковано: (2010)

Сублинейные обратные ВАХ толстых пленочных структур на основе CdTe
за авторством: Мирсагатов, Ш.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Повышение точности измерения теплопроводности строительных и теплоизоляционных материалов
за авторством: Бурова, З.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Способы реализации единицы измерения поверхностной плотности теплового потока
за авторством: Ковтун, С.И., та інші
Опубліковано: (2017)

Методика расчета параметров УЗ-преобразователей повышенной частоты
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2013)

Повышение точности измерения плотности теплового потока при контроле теплопотерь
за авторством: Ковтун, С.И.
Опубліковано: (2016)

Получение и свойства нанозвёзд золота и плёночных структур на их основе
за авторством: Бейник, Т.Г., та інші
Опубліковано: (2017)

Повышение точности измерения температуры и влажности древесины в сушильных камерах
за авторством: Рева, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Применение метода квазидифферециальной калориметрии при реализации прибора для измерения теплоты сгорания
за авторством: Воробьев, Л.И., та інші
Опубліковано: (2017)

Особенности инструментального измерения диоксида серы в выбросах и санитарной зоне тепловых станций
за авторством: Михеева, И.Л., та інші
Опубліковано: (2005)

Помехоустойчивый тензометрический прибор «ТЕНЗОД-200»
Опубліковано: (1998)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)

ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ МОНИТОРИНГА МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ ЭЛЕКТРОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
за авторством: Мазманян, Р.О.
Опубліковано: (2019)

Прибор на основе пироэлектрического приемника ИК излучения для дистанционного измерения температуры буксовых узлов рельсового транспорта в процессе движения
за авторством: Рыбак, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Получение порошков кубического нитрида бора высокой однородности
за авторством: Новиков, Н.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Прибор для регистрации колебаний сварочной ванны
за авторством: Лесков, Г.И., та інші
Опубліковано: (2004)

Автоматизированный прибор для тестирования ПЗС-матриц
за авторством: Букач, А.Б., та інші
Опубліковано: (1995)

Гармонизация стандартов Украины с международными (ISO, EN, ГОСТ) в области тепло- и массообмена и измерения теплофизических величин
за авторством: Грищенко, Т.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Адгезионные характеристики покрытий и методы их измерения
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

К вопросу однородности алмазных микропорошков по морфометрическим характеристикам
за авторством: Богатырева, Г.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние однородности шлифпорошков сверхтвердых материалов на работоспособность инструмента
за авторством: Зайцева, И.Н.
Опубліковано: (2007)

Получение термостабильных порошков кубического нитрида бора повышенной однородности
за авторством: Невструев, Г.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)

Магниторезистивные свойства многослойных наноразмерных пленочных систем
за авторством: Сынашенко, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Методика калибровки УФ-радиометров энергетической освещенности
за авторством: Doctorovich, I. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Моделирование зонда с запирающим потенциалом в проектировании устройств телеметрии и управления
за авторством: Nikolayenko, V. M., та інші
Опубліковано: (2007)