Buchumschlag

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур

A design and technological analysis of the scheme for measuring ellipsometric parameters, calculating the refractive index and film thickness has been carried out. A block diagram has been developed and a prototype instrument has been created for monitoring the degree of uniformity of film structure...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Makara, V. A., Odarych, V. A., Kepich, T. Yu., Preobragenskaya, T. D., Rudenko, O. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	эллипсометрия методы измерения параметров пленок контроль однородности
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.3.40
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
von: Макара, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Стабильность характеристик медных пленочных термопреобразователей сопротивления
von: Брайловский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Классификация методов измерения вольт-амперных характеристик полупроводниковых приборов
von: Iermolenko, Ia. O.
Veröffentlicht: (2014)

Устройства измерения температуры на основе пленочных термоэлектрических сенсоров
von: Kapitanov, N. V., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Оптико-электронное устройство в системе контроля габаритов груза железнодорожного состава
von: Dubeshko, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Прибор для экспресс-измерений коэффициента теплопроводности строительных материалов (ИТ-8)
von: Декуша, О.Л.
Veröffentlicht: (2004)

Устройства измерения температуры на основе пленочных термоэлектрических сенсоров
von: Капитанов, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Компьютерный прибор для измерения динамических параметров сердечно-сосудистой системы
von: Чернецкий, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Способ измерения массы (веса) движущихся объектов
von: Скубилин, М.Д.
Veröffentlicht: (2003)

Цифровой метод измерения коэффициента направленного отражения поверхности
von: Ivanchenko, I. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Измерение влияния магнитного поля на термо-эдс в тонких пленках без создания градиента температур
von: Karapetyan, G. Ya., et al.
Veröffentlicht: (2006)

К вопросу о точности измерения эквивалентного диаметра дефекта при использовании АРД-диаграмм
von: Луценко, Г.Г.
Veröffentlicht: (2003)

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИМПУЛЬСНОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ ДЛЯ АДАПТИВНОГО СПОСОБА ИЗМЕРЕНИЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
von: Ермоленко , Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Самопишущий дистанционный прибор для измерения температуры и влажности в гнездах птиц
von: Кожевникова, Ю.Я.
Veröffentlicht: (1975)

Оценка степени коррозионной агрессивности грунтов на участках прохождения трубопроводов по комплексному физико-химическому критерию
von: Медведык, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Вихретоковые методы выявления дефектов в зоне заклепок многослойных авиационных конструкций
von: Учанин, В.Н.
Veröffentlicht: (2006)

Методика расчета параметров УЗ-преобразователей повышенной частоты
von: Lanin, V. L., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Методы низкочастотной акустической дефектоскопии с сухим контактом в системе «преобразователь–изделие»
von: Бондаренко, А.И.
Veröffentlicht: (2010)

Проблемы измерения теплопроводности теплоизоляционных и строительных материалов
von: Бурова, З.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Повышение точности измерения теплопроводности строительных и теплоизоляционных материалов
von: Бурова, З.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Способы реализации единицы измерения поверхностной плотности теплового потока
von: Ковтун, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Повышение точности измерения плотности теплового потока при контроле теплопотерь
von: Ковтун, С.И.
Veröffentlicht: (2016)

Повышение точности измерения температуры и влажности древесины в сушильных камерах
von: Рева, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Применение метода квазидифферециальной калориметрии при реализации прибора для измерения теплоты сгорания
von: Воробьев, Л.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Особенности экспресс-измерения теплопроводности на образце конечной толщины прибором ИТ-8
von: Декуша, Л.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
von: Yemtsev, P. A.
Veröffentlicht: (2004)

ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ МОНИТОРИНГА МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ ЭЛЕКТРОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
von: Мазманян, Р.О.
Veröffentlicht: (2019)

Особенности инструментального измерения диоксида серы в выбросах и санитарной зоне тепловых станций
von: Михеева, И.Л., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Alieva, Kh. S.
Veröffentlicht: (2012)

Метод локального теплового воздействия (зондовый метод) измерения теплопроводности материалов с выносными преобразователями температуры
von: Декуша, Л.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Методика калибровки УФ-радиометров энергетической освещенности
von: Doctorovich, I. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Моделирование зонда с запирающим потенциалом в проектировании устройств телеметрии и управления
von: Nikolayenko, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Получение порошков кубического нитрида бора высокой однородности
von: Новиков, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Методы оценки степени тяжести состояния пациентов
von: Кочина, М.Л., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Помехоустойчивый тензометрический прибор «ТЕНЗОД-200»
Veröffentlicht: (1998)

Сублинейные обратные ВАХ толстых пленочных структур на основе CdTe
von: Мирсагатов, Ш.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
von: Левицкий, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Гармонизация стандартов Украины с международными (ISO, EN, ГОСТ) в области тепло- и массообмена и измерения теплофизических величин
von: Грищенко, Т.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)