Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором

• Date: 2009
• Main Authors: Djanghidze, L. B., Tavkhelidze, A. N., Blughidze, Yu. M., Taliashvili, Z. I.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
• Subjects: электрохимическое осаждение меди; конформные поверхности; электронное туннелирование; термотуннелирование
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.37
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

Electrodeposition of a copper electrode on a Si substrate is performed to obtain a large-area vacuum nanogap for thermotunneling devices. To obtain the correct geometry of such an electrode and reduce internal stress in it, cathode rotation, various protective masks, asymmetric current mode, and ele...