Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	струкрура пленки скорость травления спектр пропускания
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

id	oai:tkea.com.ua:article-685
record_format	ojs
spelling	oai:tkea.com.ua:article-6852025-12-04T21:17:20Z Modification of organosilicon films properties during the thermal and plasma treatments Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Ivanchykau, A. E. Kisel, A. M. Medvedeva, A. B Plebanovich, V. I. film structure etching rate transmission spectrum струкрура пленки скорость травления спектр пропускания It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage. Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009-04-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46 Technology and design in electronic equipment; No. 2 (2009): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 46-50 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 2 (2009): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 46-50 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46/623 Copyright (c) 2009 Ivanchykau A. E., Kisel A. M., Medvedeva A. B., Plebanovich V. I. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
institution	Technology and design in electronic equipment
baseUrl_str
datestamp_date	2025-12-04T21:17:20Z
collection	OJS
language	Ukrainian
topic	струкрура пленки скорость травления спектр пропускания
spellingShingle	струкрура пленки скорость травления спектр пропускания Ivanchykau, A. E. Kisel, A. M. Medvedeva, A. B Plebanovich, V. I. Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
topic_facet	film structure etching rate transmission spectrum струкрура пленки скорость травления спектр пропускания
format	Article
author	Ivanchykau, A. E. Kisel, A. M. Medvedeva, A. B Plebanovich, V. I.
author_facet	Ivanchykau, A. E. Kisel, A. M. Medvedeva, A. B Plebanovich, V. I.
author_sort	Ivanchykau, A. E.
title	Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
title_short	Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
title_full	Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
title_fullStr	Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
title_full_unstemmed	Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
title_sort	изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
title_alt	Modification of organosilicon films properties during the thermal and plasma treatments
description	It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.
publisher	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
publishDate	2009
url	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46
work_keys_str_mv	AT ivanchykauae modificationoforganosiliconfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT kiselam modificationoforganosiliconfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT medvedevaab modificationoforganosiliconfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT plebanovichvi modificationoforganosiliconfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT ivanchykauae izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok AT kiselam izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok AT medvedevaab izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok AT plebanovichvi izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok
first_indexed	2025-12-06T12:40:42Z
last_indexed	2025-12-06T12:40:42Z
_version_	1850762689381400576

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

Репозитарії

Схожі ресурси