Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	струкрура пленки скорость травления спектр пропускания
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Исследование термических свойств кремнийорганических полиэфируретанов
за авторством: Запунная, К.В., та інші
Опубліковано: (1983)

О механизме формирования рентгеноаморфной структуры плёнок сплавов Ni—W
за авторством: Точицкий, Т.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Структура и свойства кислородосодержащих плёнок диборида магния (MgB₂)
за авторством: Прихна, Т.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)

Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)

ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ РАЗРЯДНЫХ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ ПРИ ОГРАНИЧЕНИИ ИХ МАКСИМАЛЬНЫХ ЗНАЧЕНИЙ
за авторством: Щерба, A.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Воздействие дискретно-импульсного ввода энергии на свойства кремнийорганических сорбентов
за авторством: Грабова, Т.Л.
Опубліковано: (2004)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МОЩНЫХ РАЗРЯДНЫХ ИМПУЛЬСОВ С ПОВЫШЕННОЙ СКОРОСТЬЮ НАРАСТАНИЯ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
за авторством: Супруновская, Н.И.
Опубліковано: (2012)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
за авторством: Kasimov, F. D., та інші
Опубліковано: (2009)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)

АПЕРИОДИЧЕСКИЕ И КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ РАЗРЯДА КОНДЕНСАТОРА ПРИ ПРИНУДИТЕЛЬНОМ ОГРАНИЧЕНИИ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
за авторством: Щерба , А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

СТАЦИОНАРНЫЕ И ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ИЗОЛЯЦИИ НА ЖИЛУ СВЕРХВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КАБЕЛЕЙ
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Коммутационные управляемые устройства на p–i–n-диодах миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Karushkin, N. F., та інші
Опубліковано: (2016)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Изменение механических свойств и структуры объемных металлических стекол на основе циркония под действием высокочастотной обработки
за авторством: Бакай, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Накопление фосфорорганических пестицидов у теплокровных животных после химических обработок леса
за авторством: Федоренко, A.П., та інші
Опубліковано: (1981)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

ПУТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ ТОКА В НАГРУЗКЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Быстрое отслеживание частоты
за авторством: Prokopenko, I. G., та інші
Опубліковано: (2013)

Морфологія та оптичні властивості наноструктур, які формуються у нестехіометричних кристалах СdI2
за авторством: Bolesta, I. M., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование влияния химических обработок на физико-химические свойства углеродных нанотрубок
за авторством: Богатырева, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние низкотемпературных обработок на показатель прочности поликристаллов синтетического алмаза карбонадо
за авторством: Хайдаров, Б.К.
Опубліковано: (2016)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)

СКОРОСТЬ ВРАЩЕНИЯ ЖИДКОГО МЕТАЛЛА В КРИСТАЛЛИЗАТОРЕ С СИНХРОННЫМ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫМ ПЕРЕМЕШИВАТЕЛЕМ
за авторством: Виштак , Т.В., та інші
Опубліковано: (2014)