Зображення обкладинки

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	струкрура пленки скорость травления спектр пропускания
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Коммутационные управляемые устройства на p–i–n-диодах миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Karushkin, N. F., та інші
Опубліковано: (2016)

Исследование процесса термической деполяризации сегнетокерамики (Pb,Sr)(Zr,Ti)O3
за авторством: Kuzenko, D. V., та інші
Опубліковано: (2011)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Дослідження деяких вулканічних стекол грузинських родовищ
за авторством: Tsintskaladze, G. P., та інші
Опубліковано: (2020)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)

Структура и свойства сплавов системы Al−Si−Cu после кристаллизации в магнитном поле
за авторством: Ворон, М. М., та інші
Опубліковано: (2018)

ВПЛИВ СКЛАДУ ЛУГОСТІЙКИХ НІТРИДНИХ СТЕКОЛ НА ЇХ СТРУКТУРУ ТА ВЛАСТИВОСТІ
за авторством: Пащенко, Євген, та інші
Опубліковано: (2024)

Стабильность свойств пьезокерамических материалов при внешних воздействиях
за авторством: Kuzenko, D. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Акустооптические свойства стекол GexS100–x и акустооптический модулятор на их основе
за авторством: Bletskan, D. I., та інші
Опубліковано: (2014)

Ртутный микрозонд для исследования локальных электрофизических свойств полупроводниковых структур
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Расчет транспортных свойств детекторов гамма-излучения на основе полуизолирующих полупроводников
за авторством: Zakharchenko, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССОВ В ТРЕХФАЗНОМ ТРАНСФОРМАТОРЕ С УЧЕТОМ ТОПОЛОГИИ И ГИСТЕРЕЗИСНЫХ СВОЙСТВ МАГНИТОПРОВОДА
за авторством: Зирка, С.Е., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ВЕРОЯТНОСТНЫХ СВОЙСТВ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ЦЕПЕЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК С УЧЕТОМ СТОХАСТИЧЕСКИ ИЗМЕНЯЮЩИХСЯ ИХ ПАРАМЕТРОВ
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2019)

КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ В ОДНОФАЗНОМ ТРАНСФОРМАТОРЕ С УЧЕТОМ АНИЗОТРОПИИ ТЕПЛОВЫХ СВОЙСТВ АКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
за авторством: Кучерявая, И.Н.
Опубліковано: (2013)

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
за авторством: Turtsevich, A. S., та інші
Опубліковано: (2015)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
за авторством: Sakhno, E. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
за авторством: Katerynchuk, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Перестраиваемая линия задержки сигнала СВЧ-диапазона на основе сегнетоэлектрических и алмазных пленок
за авторством: Afanasyev, M. S., та інші
Опубліковано: (2010)

Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей
за авторством: Vakiv, N. M.
Опубліковано: (2010)

Влияние комплексных воздействий на формирование структуры и тиксотропных свойств литых высокопрочных алюминиевых сплавов В95 и Д16
за авторством: Пригунова, А. Г., та інші
Опубліковано: (2018)

РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ И ПЛОТНОСТИ ТОКА ВОЗЛЕ ВОДНЫХ ВКЛЮЧЕНИЙ ПОЛИМЕРНОЙ ИЗОЛЯЦИИ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КАБЕЛЕЙ С УЧЕТОМ ЕЕ НЕЛИНЕЙНЫХ СВОЙСТВ
за авторством: Щерба, М.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Kostin, E. G., та інші
Опубліковано: (2008)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Объемные оптические покрытия из халькогенидных стекол для полупроводниковых источников ИК-излучения
за авторством: Kabatsiy, V. М.
Опубліковано: (2009)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Синтез 6-R-2,2,4-триметил-1,2-дигідрохінолін- і 6-R-4-R’-2,2,4-триметил-1,2,3,4-тетрагідрохінолін-8-карбонових кислот – структурних аналогів helquinoline
за авторством: Medvedeva, S. M., та інші
Опубліковано: (2015)

Синтез 4,4,6-триметил-8-R-4Н-піроло[3,2,1-ij]хінолін-1,2-діонів
за авторством: Lescheva, E. V., та інші
Опубліковано: (2014)

ДО ПРОБЛЕМИ ПОШУКІВ ПОКЛАДІВ ВУГЛЕВОДНІВ НА МОНОКЛІНАЛЬНИХ СХИЛАХ ПРОГИНІВ
за авторством: Demyanenko, I., та інші
Опубліковано: (2015)

Use of Computer Technology in Modernization of Head Covers for ПЛ 20-В-500 Kaplan Turbines
за авторством: Strelnikova, E. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Use of Computer Technology in Modernization of Head Covers for ПЛ 20-В-500 Kaplan Turbines
за авторством: Strelnikova, E. A., та інші
Опубліковано: (2018)