Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике
The chemical composition, structural properties, and electrophysical parameters of BaCuTeF thin films have been investigated. The dependence of the amount of excess copper on the parameters of the deposition process has been studied. The addition of excess copper leads to an increase in film conduc...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.6.54 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1856543925908537344 |
|---|---|
| author | Hotra, Z. Yu. Tate, J. Kykyneshi, R. Zakutayev, А. А. Rakobovchuk, L. M. |
| author_facet | Hotra, Z. Yu. Tate, J. Kykyneshi, R. Zakutayev, А. А. Rakobovchuk, L. M. |
| author_sort | Hotra, Z. Yu. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2025-12-09T20:58:42Z |
| description |
The chemical composition, structural properties, and electrophysical parameters of BaCuTeF thin films have been investigated. The dependence of the amount of excess copper on the parameters of the deposition process has been studied. The addition of excess copper leads to an increase in film conductivity due to enhanced hole mobility. BaCuTeF thin films can be used for the fabrication of transparent p++ contacts to semiconductor electronic devices.
|
| first_indexed | 2025-12-17T12:06:26Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-713 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-17T12:06:26Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-7132025-12-09T20:58:42Z Electrically conductive thin films for BaCuTeF transparent contacts in semiconductor electronics Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике Hotra, Z. Yu. Tate, J. Kykyneshi, R. Zakutayev, А. А. Rakobovchuk, L. M. BaCuTeF transparent p-type semiconductors p -contacts BaCuTeF прозрачные полупроводники р-типа p -контакты The chemical composition, structural properties, and electrophysical parameters of BaCuTeF thin films have been investigated. The dependence of the amount of excess copper on the parameters of the deposition process has been studied. The addition of excess copper leads to an increase in film conductivity due to enhanced hole mobility. BaCuTeF thin films can be used for the fabrication of transparent p++ contacts to semiconductor electronic devices. Исследованы химический состав, структурные свойства и электрофизические параметры тонких пленок BaCuTeF. Изучена зависимость количества избыточной меди от параметров технологического процесса напыления. Добавление избыточной меди приводит к повышению проводимости пленок за счет увеличения подвижности дырок. Тонкие пленки BaCuTeF могут быть использованы для изготовления прозрачных р++-контактов к элементам полупроводниковой электроники. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.6.54 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2008): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 54-57 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2008): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 54-57 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.6.54/648 Copyright (c) 2008 Hotra Z. Yu., Tate J., Kykyneshi R., Zakutayev A. A., Rakobovchuk L. M. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | BaCuTeF прозрачные полупроводники р-типа p -контакты Hotra, Z. Yu. Tate, J. Kykyneshi, R. Zakutayev, А. А. Rakobovchuk, L. M. Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике |
| title | Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике |
| title_alt | Electrically conductive thin films for BaCuTeF transparent contacts in semiconductor electronics |
| title_full | Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике |
| title_fullStr | Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике |
| title_full_unstemmed | Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике |
| title_short | Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике |
| title_sort | электропроводящие тонкие пленки для bacutef прозрачных контактов в полупроводниковой электронике |
| topic | BaCuTeF прозрачные полупроводники р-типа p -контакты |
| topic_facet | BaCuTeF transparent p-type semiconductors p -contacts BaCuTeF прозрачные полупроводники р-типа p -контакты |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.6.54 |
| work_keys_str_mv | AT hotrazyu electricallyconductivethinfilmsforbacuteftransparentcontactsinsemiconductorelectronics AT tatej electricallyconductivethinfilmsforbacuteftransparentcontactsinsemiconductorelectronics AT kykyneshir electricallyconductivethinfilmsforbacuteftransparentcontactsinsemiconductorelectronics AT zakutayevaa electricallyconductivethinfilmsforbacuteftransparentcontactsinsemiconductorelectronics AT rakobovchuklm electricallyconductivethinfilmsforbacuteftransparentcontactsinsemiconductorelectronics AT hotrazyu élektroprovodâŝietonkieplenkidlâbacutefprozračnyhkontaktovvpoluprovodnikovojélektronike AT tatej élektroprovodâŝietonkieplenkidlâbacutefprozračnyhkontaktovvpoluprovodnikovojélektronike AT kykyneshir élektroprovodâŝietonkieplenkidlâbacutefprozračnyhkontaktovvpoluprovodnikovojélektronike AT zakutayevaa élektroprovodâŝietonkieplenkidlâbacutefprozračnyhkontaktovvpoluprovodnikovojélektronike AT rakobovchuklm élektroprovodâŝietonkieplenkidlâbacutefprozračnyhkontaktovvpoluprovodnikovojélektronike |