Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике
The chemical composition, structural properties, and electrophysical parameters of BaCuTeF thin films have been investigated. The dependence of the amount of excess copper on the parameters of the deposition process has been studied. The addition of excess copper leads to an increase in film conduc...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.6.54 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |