Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
The design of an evaporator intended for material deposition in vacuum-coating systems is considered, which has been successfully employed in the technological process of fabricating gallium arsenide transistors, diodes, and monolithic circuits.
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.56 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1860053888887947264 |
|---|---|
| author | Bosyi, V. I. Kokhan, V. P. Rakhmanov, N. M. |
| author_facet | Bosyi, V. I. Kokhan, V. P. Rakhmanov, N. M. |
| author_sort | Bosyi, V. I. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-18T07:52:36Z |
| description | The design of an evaporator intended for material deposition in vacuum-coating systems is considered, which has been successfully employed in the technological process of fabricating gallium arsenide transistors, diodes, and monolithic circuits. |
| first_indexed | 2026-03-19T02:00:20Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-729 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-19T02:00:20Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-7292026-03-18T07:52:36Z Evaporator for thermal deposition of materials in vacuum Испаритель для термического напыления материалов в вакууме Bosyi, V. I. Kokhan, V. P. Rakhmanov, N. M. deposition evaporator band heater crucible temperature distribution напыление испаритель ленточный нагреватель тигель распределение температуры The design of an evaporator intended for material deposition in vacuum-coating systems is considered, which has been successfully employed in the technological process of fabricating gallium arsenide transistors, diodes, and monolithic circuits. Рассмотрена конструкция испарителя, предназначенного для напыления материалов в вакуумно-напылительных установках, который успешно эксплуатируется в технологическом процессе изготовления арсенид-галлиевых транзисторов, диодов и монолитных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008-10-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.56 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2008): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 56-57 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2008): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 56-57 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.56/662 Copyright (c) 2008 Bosyi V. I., Kokhan V. P., Rakhmanov N. M. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | напыление испаритель ленточный нагреватель тигель распределение температуры Bosyi, V. I. Kokhan, V. P. Rakhmanov, N. M. Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_alt | Evaporator for thermal deposition of materials in vacuum |
| title_full | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_fullStr | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_full_unstemmed | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_short | Испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| title_sort | испаритель для термического напыления материалов в вакууме |
| topic | напыление испаритель ленточный нагреватель тигель распределение температуры |
| topic_facet | deposition evaporator band heater crucible temperature distribution напыление испаритель ленточный нагреватель тигель распределение температуры |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.56 |
| work_keys_str_mv | AT bosyivi evaporatorforthermaldepositionofmaterialsinvacuum AT kokhanvp evaporatorforthermaldepositionofmaterialsinvacuum AT rakhmanovnm evaporatorforthermaldepositionofmaterialsinvacuum AT bosyivi isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT kokhanvp isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume AT rakhmanovnm isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume |