Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Using modern methods, the complex structure of near-surface silicon layers in the “silicon — silicon dioxide” systems has been investigated. The dependencies of the parameters of these layers on oxidation conditions and the characteristics of the initial silicon have been identified. The influence o...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.62 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1856543928907464704 |
|---|---|
| author | Kulinich, O. A. Smyntyna, V. A. Glauberman, M. A. Chemeresyuk, G. G. Yatsunskiy, I. R. |
| author_facet | Kulinich, O. A. Smyntyna, V. A. Glauberman, M. A. Chemeresyuk, G. G. Yatsunskiy, I. R. |
| author_sort | Kulinich, O. A. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2025-12-28T14:09:55Z |
| description | Using modern methods, the complex structure of near-surface silicon layers in the “silicon — silicon dioxide” systems has been investigated. The dependencies of the parameters of these layers on oxidation conditions and the characteristics of the initial silicon have been identified. The influence of initial defects on the distribution of mechanical stresses and strains during silicon oxidation has been demonstrated. |
| first_indexed | 2026-02-08T08:11:02Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-735 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-02-08T08:11:02Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-7352025-12-28T14:09:55Z Іnfluence of initial defects on the distribution of mechanical stresses and deformations during silicon oxidation Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния Kulinich, O. A. Smyntyna, V. A. Glauberman, M. A. Chemeresyuk, G. G. Yatsunskiy, I. R. silicon oxide defects кремний оксид дефекты Using modern methods, the complex structure of near-surface silicon layers in the “silicon — silicon dioxide” systems has been investigated. The dependencies of the parameters of these layers on oxidation conditions and the characteristics of the initial silicon have been identified. The influence of initial defects on the distribution of mechanical stresses and strains during silicon oxidation has been demonstrated. С помощью современных методов исследована сложная структура приповерхностных слоев кремния в системах «кремний — диоксид кремния». Выявлены зависимости параметров этих слоев от условия оксидирования и характеристик первоначального кремния. Показано влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008-10-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.62 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2008): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 62-64 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2008): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 62-64 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.62/664 Copyright (c) 2008 Kulinich O. A., Smyntyna V. A., Glauberman M. A., Chemeresyuk G. G., Yatsunskiy I. R. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | кремний оксид дефекты Kulinich, O. A. Smyntyna, V. A. Glauberman, M. A. Chemeresyuk, G. G. Yatsunskiy, I. R. Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_alt | Іnfluence of initial defects on the distribution of mechanical stresses and deformations during silicon oxidation |
| title_full | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_fullStr | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_full_unstemmed | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_short | Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| title_sort | влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния |
| topic | кремний оксид дефекты |
| topic_facet | silicon oxide defects кремний оксид дефекты |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.62 |
| work_keys_str_mv | AT kulinichoa ínfluenceofinitialdefectsonthedistributionofmechanicalstressesanddeformationsduringsiliconoxidation AT smyntynava ínfluenceofinitialdefectsonthedistributionofmechanicalstressesanddeformationsduringsiliconoxidation AT glaubermanma ínfluenceofinitialdefectsonthedistributionofmechanicalstressesanddeformationsduringsiliconoxidation AT chemeresyukgg ínfluenceofinitialdefectsonthedistributionofmechanicalstressesanddeformationsduringsiliconoxidation AT yatsunskiyir ínfluenceofinitialdefectsonthedistributionofmechanicalstressesanddeformationsduringsiliconoxidation AT kulinichoa vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženijideformacijpriokisleniikremniâ AT smyntynava vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženijideformacijpriokisleniikremniâ AT glaubermanma vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženijideformacijpriokisleniikremniâ AT chemeresyukgg vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženijideformacijpriokisleniikremniâ AT yatsunskiyir vliânieishodnyhdefektovnaraspredeleniemehaničeskihnaprâženijideformacijpriokisleniikremniâ |