Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Using modern methods, the complex structure of near-surface silicon layers in the “silicon — silicon dioxide” systems has been investigated. The dependencies of the parameters of these layers on oxidation conditions and the characteristics of the initial silicon have been identified. The influence o...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.62 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Поверхностные нанообразования при окислении слоистых кристаллов SnS₂
за авторством: Katerynchuk, V. M., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Katerynchuk, V. M., та інші
Опубліковано: (2007)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)
Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO2–Si»
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)
Catalytic properties of reduced graphene oxide deposited on aluminum and magnesium oxides in acetylene hydrogenation
за авторством: Nosach, Viktoriia V., та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Nosach, Viktoriia V., та інші
Опубліковано: (2025)
Формирование покрытий методом лазерной наплавки порошков титана и карбида кремния на поверхность малоуглеродистой стали
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности формирования кристаллографической текстуры и остаточных напряжений в титановом сплаве ВТ22 после комплексного воздействия интенсивной термомеханической обработки и скоростного нагрева
за авторством: Карасевская, О.П., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Карасевская, О.П., та інші
Опубліковано: (2016)
Особенности формирования кристаллографической текстуры и остаточных напряжений в титановом сплаве ВТ22 после комплексного воздействия интенсивной термомеханической обработки и скоростного нагрева
за авторством: Карасевская, О.П., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Карасевская, О.П., та інші
Опубліковано: (2016)
Каталітична полімеризація пропіленоксиду
за авторством: Levytska, Svitlana I., та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Levytska, Svitlana I., та інші
Опубліковано: (2025)
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование механических напряжений в приводном валу вакуумного выключателя средних напряжений
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние физико-механических свойств соединяемых металлов и геометрии деталей на распределение напряжений при диффузионной сварке в вакууме
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
Моделирование кинетики режимов фрагментации материалов при интенсивной пластической деформации
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Каталитические эффекты при анодном окислении глюкозы
за авторством: Антонов, С.П., та інші
Опубліковано: (1984)
за авторством: Антонов, С.П., та інші
Опубліковано: (1984)
Особливості одержання алюмінію з відходів ливарного виробництва: Processy litʹâ, 2020, Tom 140, №2, p.3-7
за авторством: Довбенко, В. В., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Довбенко, В. В., та інші
Опубліковано: (2020)
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
Поверхностные нанообразования при окислении слоистых кристаллов SnS₂
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2002)
Оценка механических напряжений в металле контактно-резистивным методом
за авторством: Кислицын, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Кислицын, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Carbon Distribution in Low-Temperature Isothermal Iron-Based Martensite and Its Tetragonality
за авторством: Gavriljuk, V.G., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Gavriljuk, V.G., та інші
Опубліковано: (2016)
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Longitudinal Ultrasound Velocity and Attenuation in Isotopically Enriched Cadmium
за авторством: Bulatov, A.S., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Bulatov, A.S., та інші
Опубліковано: (2018)
Hydrogen Sorption Properties of Ti₀,₄₇₅Zr₀,₃Mn₀,₂₂₅ Eutectic Alloy Alloyed with 2 at.% and 5 at.% of Vanadium
за авторством: Ivanchenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ivanchenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2015)