Зображення обкладинки

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления

The results of a study of the optical emission of discharge plasma in the wavelength range of 350–820 nm and the discharge voltage of an inverted cylindrical magnetron under various flows of reactive gases (N₂, O₂) are presented. The variation in discharge voltage exhibits features that can be corre...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Kostin, E. G., Demchyshyn, A. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Теми:	реактивное распыление магнетрон оптическое излучение плазмы пленки TiN пленки TiO2
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.4.47
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

ВПЛИВ КИСНЮ НА РІДКОФАЗНЕ СПІКАННЯ КЕРМЕТІВ З НАНОДИСПЕРСНИХ СИСТЕМ TiN–Ni
за авторством: Кайдаш, Оксана
Опубліковано: (2019)

Вплив аргонвмісного середовища відпалу на перебіг структурно-фазових перетворень в тонкоплівкових композиціях Ni/Ti
за авторством: Kruhlov, I.O., та інші
Опубліковано: (2023)

ВПЛИВ БОРИДІВ TIВ2-TIB2- (ВТОРИННИЙ) НА СТУКТУРУ, ВЛАСТИВОСТІ І АБРАЗИВНИЙ ЗНОС ГАРЯЧЕПРЕСОВАНИХ СМС-КОМПОЗИТІВ B4C- (TIВ2-TIН2)
за авторством: Кайдаш, О. М., та інші
Опубліковано: (2018)

Дослідження морфології багатошарових включень в сплавах системи Fe-C-Mn-Si-Ti-Al-N
за авторством: Філоненко, Наталія, та інші
Опубліковано: (2023)

Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
за авторством: Kabatsiy, V. N.
Опубліковано: (2008)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
за авторством: Rudenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура і властивості вакуумно-дугового TiN-покриття на поверхні стопу Д16
за авторством: Васильєв, М.О., та інші
Опубліковано: (2014)

Електронна будова та мікротвердість карбідних покриттів Ti, V, Cr на сталі У10А
за авторством: Заулічний, Я.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Виготовлення і дослідження будови та ефективності комплексної лігатури Al-12Ti-8Zr
за авторством: Ворон, Михайло, та інші
Опубліковано: (2023)

Електропровідні композити на основі TiO2 та вуглецевих наноструктур, виготовлені при використанні 3D друку технології CJP
за авторством: Zolotarenk, Ol. D, та інші
Опубліковано: (2022)

Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
за авторством: Орлов, А.К., та інші
Опубліковано: (2018)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

USING THE INTEGRAL INDICATOR TO DETERMINE TI-ZR PRIORITY AREAS OF PLACERS
за авторством: Охоліна, T.В., та інші
Опубліковано: (2024)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)

Сучасні підходи в розробці біосумісних титанових сплавів з підвищеним рівнем експлуатаційних властивостей
за авторством: Ворон, Михайло, та інші
Опубліковано: (2023)

Технологічні особливості одержання сплавів та лігатур системи TI–ZR–NB–SN в умовах електронно-променевої ливарної технології
за авторством: Ворон, М. М., та інші
Опубліковано: (2023)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

Твердость и адгезионная прочность ионно-плазменных покрытий квазибинарных систем TiB₂-WB₂ и TiC-WC
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

ЭФФЕКТИВНОСТЬ БЫСТРООХЛАЖДЕННОЙ ЛИГАТУРЫ ALTI5 В УСЛОВИЯХ ПРЯМОГО ТЕРМИЧЕСКОГО МЕТОДА РЕОЛИТЬЯ
за авторством: Белик, В. И., та інші
Опубліковано: (2018)

МУЛЬТІКОМПОНЕНТНІ КОМПОЗИТИ cBN ГРУПИ BL: ЗНОШУВАННЯ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ТОЧІННІ СУПЕРСПЛАВУ НА НІКЕЛЕВІЙ ОСНОВІ
за авторством: Петруша, Ігор, та інші
Опубліковано: (2025)

Параметры поверхностных акустических волн в пьезокристаллах при высоких значениях температуры
за авторством: Dvoesherstov, M. Yu., та інші
Опубліковано: (2008)

Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-ТiО2:Mn/p-CdTe
за авторством: Mostovyi, A. I., та інші
Опубліковано: (2013)

ЗАЛЕЖНІСТЬ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ SLM 3D ДРУКОВАНИХ ІМПЛАНТАТІВ НА ОСНОВІ ПОРОШКУ Ti-6Al-4V ВІД ТИПУ ОБРОБКИ
за авторством: Єфіменко, Максим, та інші
Опубліковано: (2024)

ВПЛИВ УМОВ ФОРМУВАННЯ НА ТРИБОТЕХНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БАГАТОШАРОВОГО ПОКРИТТЯ TiNbN/CrN
за авторством: Клименко, С. Ан., та інші
Опубліковано: (2025)

Мёссбауэровская спектроскопия поверхностного слоя титанового сплава ВТ6, модифицированного ультразвуковой ударной деформацией
за авторством: Польшин, Э.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001)
за авторством: Шаміс, М.Н., та інші
Опубліковано: (2017)

Зміцнення поверхні сталі 45 йонним азотуванням у геліконному розряді
за авторством: Руденко, Е.М., та інші
Опубліковано: (2018)

Mechanical and Structural Studies of Ternary Mo–Zr–N Layers Deposited on Substrate by PVD
за авторством: Abboudi, Abdelaziz, та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Магнетні та магнеторезистивні властивості плівок феромагнетних металів
за авторством: Воробйов, С.І., та інші
Опубліковано: (2015)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. II. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах твёрдыми износостойкими и мягкими
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)

Вплив хеміко-термічного оброблення на топографію поверхні титану
за авторством: Погрелюк, І.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Эффект Фарадея в тонких плёнках металлов Fe, Co, Ni на подложках из полиэтилентерефталата
за авторством: Шаповал, К.О., та інші
Опубліковано: (2017)

Структура ионно-плазменных покрытий из высокоэнтропийного сплава AlFeNiCoCuCr
за авторством: Надутов, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Температурно-регулируемое межслойное обменное взаимодействие в многослойной структуре Ni₈₀Fe₂₀/Ni₄₀Cu₆₀/Co₉₀Fe₁₀/Mn₈₀Ir₂₀
за авторством: Кравец, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)

Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді
за авторством: Петрушенко, С.І., та інші
Опубліковано: (2016)

Образование переходного диффузионного слоя "покрытие—подложка" при электрокристаллизации
за авторством: Штапенко, Э.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)