Зображення обкладинки

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления

The results of a study of the optical emission of discharge plasma in the wavelength range of 350–820 nm and the discharge voltage of an inverted cylindrical magnetron under various flows of reactive gases (N₂, O₂) are presented. The variation in discharge voltage exhibits features that can be corre...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Kostin, E. G., Demchyshyn, A. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Теми:	реактивное распыление магнетрон оптическое излучение плазмы пленки TiN пленки TiO2
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.4.47
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

ВПЛИВ КИСНЮ НА РІДКОФАЗНЕ СПІКАННЯ КЕРМЕТІВ З НАНОДИСПЕРСНИХ СИСТЕМ TiN–Ni
за авторством: Кайдаш, Оксана
Опубліковано: (2019)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Костин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

ВПЛИВ БОРИДІВ TIВ2-TIB2- (ВТОРИННИЙ) НА СТУКТУРУ, ВЛАСТИВОСТІ І АБРАЗИВНИЙ ЗНОС ГАРЯЧЕПРЕСОВАНИХ СМС-КОМПОЗИТІВ B4C- (TIВ2-TIН2)
за авторством: Кайдаш, О. М., та інші
Опубліковано: (2018)

Вплив аргонвмісного середовища відпалу на перебіг структурно-фазових перетворень в тонкоплівкових композиціях Ni/Ti
за авторством: Kruhlov, I.O., та інші
Опубліковано: (2023)

Дослідження морфології багатошарових включень в сплавах системи Fe-C-Mn-Si-Ti-Al-N
за авторством: Філоненко, Наталія, та інші
Опубліковано: (2023)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
за авторством: Rudenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура і властивості вакуумно-дугового TiN-покриття на поверхні стопу Д16
за авторством: Васильєв, М.О., та інші
Опубліковано: (2014)

Електронна будова та мікротвердість карбідних покриттів Ti, V, Cr на сталі У10А
за авторством: Заулічний, Я.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

The Wear Treatment by Nd:YAG Laser on Ti—6Al—4V Alloy: Effect of the Spot Size on Laser Beam and Seam Morphology
за авторством: Gursel, A.
Опубліковано: (2015)

Дослідження методом РФС поверхні нанопорошків TiO2:Ag
за авторством: Korduban, O. M., та інші
Опубліковано: (2020)

Фоточутливі нанокомпозити на основі нанотрубок TiО2, CdSe і оксиду графена
за авторством: Rusetskii, I. A., та інші
Опубліковано: (2016)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
за авторством: Орлов, А.К., та інші
Опубліковано: (2018)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)

Виготовлення і дослідження будови та ефективності комплексної лігатури Al-12Ti-8Zr
за авторством: Ворон, Михайло, та інші
Опубліковано: (2023)

Електропровідні композити на основі TiO2 та вуглецевих наноструктур, виготовлені при використанні 3D друку технології CJP
за авторством: Zolotarenk, Ol. D, та інші
Опубліковано: (2022)

USING THE INTEGRAL INDICATOR TO DETERMINE TI-ZR PRIORITY AREAS OF PLACERS
за авторством: Охоліна, T.В., та інші
Опубліковано: (2024)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

Аналiз теоретико-експериментальних дослiджень ефекту Ж. Губера
за авторством: Silvestrov, A. M., та інші
Опубліковано: (2018)

Сучасні підходи в розробці біосумісних титанових сплавів з підвищеним рівнем експлуатаційних властивостей
за авторством: Ворон, Михайло, та інші
Опубліковано: (2023)

Технологічні особливості одержання сплавів та лігатур системи TI–ZR–NB–SN в умовах електронно-променевої ливарної технології
за авторством: Ворон, М. М., та інші
Опубліковано: (2023)

Твердость и адгезионная прочность ионно-плазменных покрытий квазибинарных систем TiB₂-WB₂ и TiC-WC
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние термической обработки на структуру и механические свойства волокнистого композита Ti−Al, полученного методом пакетного гидропрессования
за авторством: Петрущак, С.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Математическое моделирование нестационарных тепловых режимов блока системы измерения давления СИД-3-148
за авторством: Ranchenko, G. S., та інші
Опубліковано: (2008)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)

ВІМС дослiдження поверхнi гiдридоутворюючого сплаву TiFe
за авторством: Litvinov, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

ЭФФЕКТИВНОСТЬ БЫСТРООХЛАЖДЕННОЙ ЛИГАТУРЫ ALTI5 В УСЛОВИЯХ ПРЯМОГО ТЕРМИЧЕСКОГО МЕТОДА РЕОЛИТЬЯ
за авторством: Белик, В. И., та інші
Опубліковано: (2018)

МУЛЬТІКОМПОНЕНТНІ КОМПОЗИТИ cBN ГРУПИ BL: ЗНОШУВАННЯ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ТОЧІННІ СУПЕРСПЛАВУ НА НІКЕЛЕВІЙ ОСНОВІ
за авторством: Петруша, Ігор, та інші
Опубліковано: (2025)

Вплив хеміко-термічного оброблення на топографію поверхні титану
за авторством: Погрелюк, І.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. II. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах твёрдыми износостойкими и мягкими
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование закономерностей процессов формирования поверхностных слоёв при электроэрозионном легировании. Часть II
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2017)

Structural and Microstructural Analysis of Zn–Mo Alloy Layers Electrodeposited from Aqueous Citrate Solution
за авторством: Świątek, Z., та інші
Опубліковано: (2017)

Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов
за авторством: Найдич, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Nanoscale Surface Deformation of the Granular Со₂₅Ag₇₅ Films
за авторством: Gorobets, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Вплив підшарів ґерманію на оптичну провідність тонких плівок золота
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2018)

Обоснование механоплазменного эффекта, возникающего в процессе механической обработки металла в смазочно-охлаждающих технологических средствах
за авторством: Сошко, А.И., та інші
Опубліковано: (2017)