Buchumschlag

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления

The results of a study of the optical emission of discharge plasma in the wavelength range of 350–820 nm and the discharge voltage of an inverted cylindrical magnetron under various flows of reactive gases (N₂, O₂) are presented. The variation in discharge voltage exhibits features that can be corre...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2008
Hauptverfasser:	Kostin, E. G., Demchyshyn, A. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Schlagworte:	реактивное распыление магнетрон оптическое излучение плазмы пленки TiN пленки TiO2
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.4.47
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

ВПЛИВ КИСНЮ НА РІДКОФАЗНЕ СПІКАННЯ КЕРМЕТІВ З НАНОДИСПЕРСНИХ СИСТЕМ TiN–Ni
von: Кайдаш, Оксана
Veröffentlicht: (2019)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Костин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Вплив аргонвмісного середовища відпалу на перебіг структурно-фазових перетворень в тонкоплівкових композиціях Ni/Ti
von: Kruhlov, I.O., et al.
Veröffentlicht: (2023)

ВПЛИВ БОРИДІВ TIВ2-TIB2- (ВТОРИННИЙ) НА СТУКТУРУ, ВЛАСТИВОСТІ І АБРАЗИВНИЙ ЗНОС ГАРЯЧЕПРЕСОВАНИХ СМС-КОМПОЗИТІВ B4C- (TIВ2-TIН2)
von: Кайдаш, О. М., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Дослідження морфології багатошарових включень в сплавах системи Fe-C-Mn-Si-Ti-Al-N
von: Філоненко, Наталія, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
von: Rudenko, E.M., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Структура і властивості вакуумно-дугового TiN-покриття на поверхні стопу Д16
von: Васильєв, М.О., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Електронна будова та мікротвердість карбідних покриттів Ti, V, Cr на сталі У10А
von: Заулічний, Я.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

The Wear Treatment by Nd:YAG Laser on Ti—6Al—4V Alloy: Effect of the Spot Size on Laser Beam and Seam Morphology
von: Gursel, A.
Veröffentlicht: (2015)

Дослідження методом РФС поверхні нанопорошків TiO2:Ag
von: Korduban, O. M., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Фоточутливі нанокомпозити на основі нанотрубок TiО2, CdSe і оксиду графена
von: Rusetskii, I. A., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
von: Орлов, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
von: Gasparov, V.A.
Veröffentlicht: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
von: Ковалев, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
von: Марченков, В.В.
Veröffentlicht: (2011)

Виготовлення і дослідження будови та ефективності комплексної лігатури Al-12Ti-8Zr
von: Ворон, Михайло, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Електропровідні композити на основі TiO2 та вуглецевих наноструктур, виготовлені при використанні 3D друку технології CJP
von: Zolotarenk, Ol. D, et al.
Veröffentlicht: (2022)

USING THE INTEGRAL INDICATOR TO DETERMINE TI-ZR PRIORITY AREAS OF PLACERS
von: Охоліна, T.В., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
von: Maximenko, L. S., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Сучасні підходи в розробці біосумісних титанових сплавів з підвищеним рівнем експлуатаційних властивостей
von: Ворон, Михайло, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Технологічні особливості одержання сплавів та лігатур системи TI–ZR–NB–SN в умовах електронно-променевої ливарної технології
von: Ворон, М. М., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Твердость и адгезионная прочность ионно-плазменных покрытий квазибинарных систем TiB₂-WB₂ и TiC-WC
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Влияние термической обработки на структуру и механические свойства волокнистого композита Ti−Al, полученного методом пакетного гидропрессования
von: Петрущак, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Аналiз теоретико-експериментальних дослiджень ефекту Ж. Губера
von: Silvestrov, A. M., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Математическое моделирование нестационарных тепловых режимов блока системы измерения давления СИД-3-148
von: Ranchenko, G. S., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
von: Semyonova, S. E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

ВІМС дослiдження поверхнi гiдридоутворюючого сплаву TiFe
von: Litvinov, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

ЭФФЕКТИВНОСТЬ БЫСТРООХЛАЖДЕННОЙ ЛИГАТУРЫ ALTI5 В УСЛОВИЯХ ПРЯМОГО ТЕРМИЧЕСКОГО МЕТОДА РЕОЛИТЬЯ
von: Белик, В. И., et al.
Veröffentlicht: (2018)

МУЛЬТІКОМПОНЕНТНІ КОМПОЗИТИ cBN ГРУПИ BL: ЗНОШУВАННЯ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ТОЧІННІ СУПЕРСПЛАВУ НА НІКЕЛЕВІЙ ОСНОВІ
von: Петруша, Ігор, et al.
Veröffentlicht: (2025)

Вплив хеміко-термічного оброблення на топографію поверхні титану
von: Погрелюк, І.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. II. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах твёрдыми износостойкими и мягкими
von: Тарельник, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Исследование закономерностей процессов формирования поверхностных слоёв при электроэрозионном легировании. Часть II
von: Тарельник, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Structural and Microstructural Analysis of Zn–Mo Alloy Layers Electrodeposited from Aqueous Citrate Solution
von: Świątek, Z., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов
von: Найдич, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Nanoscale Surface Deformation of the Granular Со₂₅Ag₇₅ Films
von: Gorobets, O.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Вплив підшарів ґерманію на оптичну провідність тонких плівок золота
von: Бігун, Р.І., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Обоснование механоплазменного эффекта, возникающего в процессе механической обработки металла в смазочно-охлаждающих технологических средствах
von: Сошко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)