Зображення обкладинки

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления

The results of a study of the optical emission of discharge plasma in the wavelength range of 350–820 nm and the discharge voltage of an inverted cylindrical magnetron under various flows of reactive gases (N₂, O₂) are presented. The variation in discharge voltage exhibits features that can be corre...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Kostin, E. G., Demchyshyn, A. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Теми:	реактивное распыление магнетрон оптическое излучение плазмы пленки TiN пленки TiO2
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.4.47
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

ВПЛИВ КИСНЮ НА РІДКОФАЗНЕ СПІКАННЯ КЕРМЕТІВ З НАНОДИСПЕРСНИХ СИСТЕМ TiN–Ni
за авторством: Кайдаш, Оксана
Опубліковано: (2019)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

ВПЛИВ БОРИДІВ TIВ2-TIB2- (ВТОРИННИЙ) НА СТУКТУРУ, ВЛАСТИВОСТІ І АБРАЗИВНИЙ ЗНОС ГАРЯЧЕПРЕСОВАНИХ СМС-КОМПОЗИТІВ B4C- (TIВ2-TIН2)
за авторством: Кайдаш, О. М., та інші
Опубліковано: (2018)

Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
за авторством: Konakova, R. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Вплив аргонвмісного середовища відпалу на перебіг структурно-фазових перетворень в тонкоплівкових композиціях Ni/Ti
за авторством: Kruhlov, I.O., та інші
Опубліковано: (2023)

Дослідження методом РФС поверхні нанопорошків TiO2:Ag
за авторством: Korduban, O. M., та інші
Опубліковано: (2020)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)

Фоточутливі нанокомпозити на основі нанотрубок TiО2, CdSe і оксиду графена
за авторством: Rusetskii, I. A., та інші
Опубліковано: (2016)

Електропровідні композити на основі TiO2 та вуглецевих наноструктур, виготовлені при використанні 3D друку технології CJP
за авторством: Zolotarenk, Ol. D, та інші
Опубліковано: (2022)

USING THE INTEGRAL INDICATOR TO DETERMINE TI-ZR PRIORITY AREAS OF PLACERS
за авторством: Охоліна, T.В., та інші
Опубліковано: (2024)

Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Технологічні особливості одержання сплавів та лігатур системи TI–ZR–NB–SN в умовах електронно-променевої ливарної технології
за авторством: Ворон, М. М., та інші
Опубліковано: (2023)

PФEС и ТПВ дослідження M/TiO2 (M=Co, Cu, Mn, Ni) порошків, одержаних золь-гель методом
за авторством: Petrik, I. S., та інші
Опубліковано: (2015)

Объемные оптические покрытия из халькогенидных стекол для полупроводниковых источников ИК-излучения
за авторством: Kabatsiy, V. М.
Опубліковано: (2009)

ВПЛИВ УМОВ ФОРМУВАННЯ НА ТРИБОТЕХНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БАГАТОШАРОВОГО ПОКРИТТЯ TiNbN/CrN
за авторством: Клименко, С. Ан., та інші
Опубліковано: (2025)

ЗАЛЕЖНІСТЬ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ SLM 3D ДРУКОВАНИХ ІМПЛАНТАТІВ НА ОСНОВІ ПОРОШКУ Ti-6Al-4V ВІД ТИПУ ОБРОБКИ
за авторством: Єфіменко, Максим, та інші
Опубліковано: (2024)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Органические светоизлучающие структуры — технологии XXI века
за авторством: Sorokin, V. M, та інші
Опубліковано: (2009)

Синтез композитного матеріалу O-g-C3N4/TiO2 рутил для фотокаталітичного застосування
за авторством: Bondarenko, M. E., та інші
Опубліковано: (2019)

Вплив фазового складу матриці TiO2 на оптичні властивості та морфологію осаджених наночастинок C3N4Ox
за авторством: Bondarenko, M. E., та інші
Опубліковано: (2020)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

ЭФФЕКТИВНОСТЬ БЫСТРООХЛАЖДЕННОЙ ЛИГАТУРЫ ALTI5 В УСЛОВИЯХ ПРЯМОГО ТЕРМИЧЕСКОГО МЕТОДА РЕОЛИТЬЯ
за авторством: Белик, В. И., та інші
Опубліковано: (2018)

МУЛЬТІКОМПОНЕНТНІ КОМПОЗИТИ cBN ГРУПИ BL: ЗНОШУВАННЯ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ТОЧІННІ СУПЕРСПЛАВУ НА НІКЕЛЕВІЙ ОСНОВІ
за авторством: Петруша, Ігор, та інші
Опубліковано: (2025)

Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-ТiО2:Mn/p-CdTe
за авторством: Mostovyi, A. I., та інші
Опубліковано: (2013)

Параметры поверхностных акустических волн в пьезокристаллах при высоких значениях температуры
за авторством: Dvoesherstov, M. Yu., та інші
Опубліковано: (2008)

Особливості одержання титанових сплавів системи Ti–Al–Si–Zr–Mo–Nb–Sn в умовах електронно-променевої ливарної технології: Processy litʹâ, 2020, Tom 140, №2, p.8-14
за авторством: Ладохін, С. В., та інші
Опубліковано: (2020)

Фотокаталітичне знебарвлення органічних барвників бінарними нанокомпозитами на основі анатазу у водному дисперсійному середовищі
за авторством: Lavrynenko, O. M., та інші
Опубліковано: (2024)

Синтез плівок Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3 зі структурою NASICON методом «tаpecasting»
за авторством: Linova, B. O., та інші
Опубліковано: (2016)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Компенсатор поляризационной модовой дисперсии на основе спирально изогнутого одномодового оптоволокна
за авторством: Bagachuk, D. G.
Опубліковано: (2013)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)

Жароміцні інтерметалідні сплави та особливості їх легування
за авторством: Byba, I. G., та інші
Опубліковано: (2024)

Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
за авторством: Kabatsiy, V. N.
Опубліковано: (2008)

Дослідження кристалів Cu2ZnSnSe4 та гетеропереходів на їхній основі
за авторством: Kovaliuk, T. T., та інші
Опубліковано: (2018)

Математическое моделирование нестационарных тепловых режимов блока системы измерения давления СИД-3-148
за авторством: Ranchenko, G. S., та інші
Опубліковано: (2008)

CORRELATION OF THE SURFACE STRUCTURE OF THE RuO2/Ti AND TiO2 /Ti FILMS WITH ELECTROCHEMICAL IMPEDANCE DATA
за авторством: Linyucheva, Olga, та інші
Опубліковано: (2022)

Цільові вимоги до біомедичних наноматеріалів на основі дисперсних оксидів та текстилю, модифікованих металевими наночастинками
за авторством: Eremenko, A. M., та інші
Опубліковано: (2023)