Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
A model of defect formation in the form of spots on the surface of polycrystalline silicon during the processing of semiconductor wafers in an etchant based on hydrofluoric acid is considered, as well as a model of defect removal in chemical solutions. The influence of centrifuge rotation speed duri...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.1.42 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Анализ пространственных структур, возникающих при эвтектической кристаллизации и ячеистом распаде пересыщенных твёрдых растворов
за авторством: Иванов, М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Иванов, М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Исследование и оптимизация бокового катода для магнетронов с холодным вторично-эмиссионным катодом
за авторством: Автомонов, Н.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Автомонов, Н.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Твердотельные источники гетеродинного излучения субмиллиметрового диапазона
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2010)
Становление и развитие квантовой радиофизики и квантовой электроники СВЧ диапазона в Украине
за авторством: Еру, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Еру, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Малошумящие субмиллиметровые системы когерентного приема (cовременное состояние и тенденции развития)
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2006)
Диоды Ганна на основе варизонного Alx(z)Ga1-x(z)As c различными катодными контактами
за авторством: Стороженко, И.П.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Стороженко, И.П.
Опубліковано: (2006)
Сверхмалошумящие криогенно охлаждаемые усилители на псевдоморфных гетероструктурных полевых транзисторах
за авторством: Королев, А.М., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Королев, А.М., та інші
Опубліковано: (2007)
Контактное взаимодействие и смачивание поликристаллического кремния металлическими расплавами
за авторством: Красовский, В.П., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Красовский, В.П., та інші
Опубліковано: (2018)
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
Формирование покрытий методом лазерной наплавки порошков титана и карбида кремния на поверхность малоуглеродистой стали
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Вэйвлет анализ и его применение в туннельной и рентгеновской спектроскопии
за авторством: Чукалина, М.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Чукалина, М.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Ультразвуковые исследования фазового перехода в ZnSe:Ni
за авторством: Гудков, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гудков, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Неравновесные процессы и сегнетоэлектрический фазовый переход в кристаллах PbGeTe(Ga)
за авторством: Акимов, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Акимов, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Statistical strained-tetrahedron model of local ternary zinc blende crystal structures
за авторством: Robouch, B.V., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Robouch, B.V., та інші
Опубліковано: (2004)
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
за авторством: Джавадов, Н.Г.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Джавадов, Н.Г.
Опубліковано: (2005)
Влияние радиационного облучения на характеристики солнечных элементов из поликристаллического кремния
за авторством: Завадский, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Завадский, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Тонкопленочные элементы кремниевых диодов Шоттки для высокотемпературного микромонтажа
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2007)
Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности
за авторством: Алиев, Р., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Алиев, Р., та інші
Опубліковано: (2011)
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Роль межузельных атомов кремния в конфигурационной перестройке дивакансий в кластерах дефектов
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2016)
Классификация рисков, возникающих при осуществлении концессионных проектов
за авторством: Погребняк, М.Н.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Погребняк, М.Н.
Опубліковано: (2009)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
ДИАГНОСТИКА СКРЫТЫХ ДЕФЕКТОВ КОРОТКОЗАМКНУТОЙ ОБМОТКИ РОТОРА АСИНХРОННОГО ДВИГАТЕЛЯ ИНДУКЦИОННЫМ МЕТОДОМ
за авторством: Васьковский, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Васьковский, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2013)
Thermodynamic Modelling of Oxide Conversion Processes for Metals of Life
за авторством: Mikadze, O.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Mikadze, O.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Ударное уплотнение порошка вольфрама в широком диапазоне температур. I. Плотность и структура
за авторством: Толочин, А.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Толочин, А.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Effect of Temperature on the Corrosion Behaviours of L360QCS in the Environments Containing Elemental Sulphur and H₂S/CO₂
за авторством: Shuqi Zheng, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Shuqi Zheng, та інші
Опубліковано: (2012)
Вплив заміни Кобальту Ванадієм на умови взаємодії у системі Sm₂(Co,V)₁₇–H₂
за авторством: Булик, І.І., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Булик, І.І., та інші
Опубліковано: (2017)
Hydrogen Grain Boundary Segregation and Migration in the Alpha-Iron
за авторством: Gavriljuk, V.G., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Gavriljuk, V.G., та інші
Опубліковано: (2017)
Модель реакционной диффузии в бинарной системе, учитывающая действие источников и стоков вакансий в материнских фазах
за авторством: Корниенко, С.В.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Корниенко, С.В.
Опубліковано: (2013)
Исследование процессов взаимодействия титаносодержащих припоев с оксидной керамикой и коваром
за авторством: Костин, А.М., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Костин, А.М., та інші
Опубліковано: (2014)
Розрахунок впливу сегрегаційних ефектів на рух міжфазних меж за коміркового розпаду
за авторством: Ляшенко, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ляшенко, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2015)