Buchumschlag

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния

A model of defect formation in the form of spots on the surface of polycrystalline silicon during the processing of semiconductor wafers in an etchant based on hydrofluoric acid is considered, as well as a model of defect removal in chemical solutions. The influence of centrifuge rotation speed duri...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2008
Hauptverfasser:	Ivanchykou, A. E., Kisel, A. М., Medvedeva, А. V., Plebanovich, B. I.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Schlagworte:	производство полупроводниковых приборов химочистка дефекты в виде пятен
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.1.42
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Kulinich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Анализ пространственных структур, возникающих при эвтектической кристаллизации и ячеистом распаде пересыщенных твёрдых растворов
von: Иванов, М.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование и оптимизация бокового катода для магнетронов с холодным вторично-эмиссионным катодом
von: Автомонов, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Твердотельные источники гетеродинного излучения субмиллиметрового диапазона
von: Еру, И.И.
Veröffentlicht: (2010)

Становление и развитие квантовой радиофизики и квантовой электроники СВЧ диапазона в Украине
von: Еру, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Малошумящие субмиллиметровые системы когерентного приема (cовременное состояние и тенденции развития)
von: Еру, И.И.
Veröffentlicht: (2006)

Диоды Ганна на основе варизонного Alx(z)Ga1-x(z)As c различными катодными контактами
von: Стороженко, И.П.
Veröffentlicht: (2006)

Сверхмалошумящие криогенно охлаждаемые усилители на псевдоморфных гетероструктурных полевых транзисторах
von: Королев, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Контактное взаимодействие и смачивание поликристаллического кремния металлическими расплавами
von: Красовский, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
von: Агаев, Ф.Г.
Veröffentlicht: (2001)

Формирование покрытий методом лазерной наплавки порошков титана и карбида кремния на поверхность малоуглеродистой стали
von: Тарасова, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Вэйвлет анализ и его применение в туннельной и рентгеновской спектроскопии
von: Чукалина, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Ультразвуковые исследования фазового перехода в ZnSe:Ni
von: Гудков, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Неравновесные процессы и сегнетоэлектрический фазовый переход в кристаллах PbGeTe(Ga)
von: Акимов, Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Statistical strained-tetrahedron model of local ternary zinc blende crystal structures
von: Robouch, B.V., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
von: Искендер-заде, З.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
von: Джавадов, Н.Г.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние радиационного облучения на характеристики солнечных элементов из поликристаллического кремния
von: Завадский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Исследование собственных и примесных точечных дефектов в сапфировых подложках люминесцентными методами
von: Bletskan, D. I., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Смынтына, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Тонкопленочные элементы кремниевых диодов Шоттки для высокотемпературного микромонтажа
von: Baranov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности
von: Алиев, Р., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
von: Попов, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Роль межузельных атомов кремния в конфигурационной перестройке дивакансий в кластерах дефектов
von: Долголенко, А.П.
Veröffentlicht: (2016)

Классификация рисков, возникающих при осуществлении концессионных проектов
von: Погребняк, М.Н.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Кулинич, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
von: Попов, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ДИАГНОСТИКА СКРЫТЫХ ДЕФЕКТОВ КОРОТКОЗАМКНУТОЙ ОБМОТКИ РОТОРА АСИНХРОННОГО ДВИГАТЕЛЯ ИНДУКЦИОННЫМ МЕТОДОМ
von: Васьковский, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Thermodynamic Modelling of Oxide Conversion Processes for Metals of Life
von: Mikadze, O.I., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Ударное уплотнение порошка вольфрама в широком диапазоне температур. I. Плотность и структура
von: Толочин, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Effect of Temperature on the Corrosion Behaviours of L360QCS in the Environments Containing Elemental Sulphur and H₂S/CO₂
von: Shuqi Zheng, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Вплив заміни Кобальту Ванадієм на умови взаємодії у системі Sm₂(Co,V)₁₇–H₂
von: Булик, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Hydrogen Grain Boundary Segregation and Migration in the Alpha-Iron
von: Gavriljuk, V.G., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Модель реакционной диффузии в бинарной системе, учитывающая действие источников и стоков вакансий в материнских фазах
von: Корниенко, С.В.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование процессов взаимодействия титаносодержащих припоев с оксидной керамикой и коваром
von: Костин, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2014)