Shangereeva, B. A. (2008). Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Shangereeva, B. A. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2008.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Shangereeva, B. A. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2008.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.