APA (7th ed.) Citation

Shangereeva, B. A. (2008). Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Shangereeva, B. A. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2008.

MLA (8th ed.) Citation

Shangereeva, B. A. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2008.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.