Зображення обкладинки

Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем

The results of the development and implementation of a basic phosphorus diffusion process for the formation of the active region of a power silicon transistor are presented. It is shown that the obtained optimal technological regimes of phosphorus diffusion using a solid planar source make it possib...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автор:	Shangereeva, B. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Теми:	диффузия фосфора, активная область технологический режим транзистор твердый планарный источник электрофизические характеристики
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.1.54
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
за авторством: Шангереева, Б.А.
Опубліковано: (2008)

Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
за авторством: Leonov, N. I., та інші
Опубліковано: (2006)

Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона
за авторством: Filynyuk, N. А., та інші
Опубліковано: (2006)

Defects and supersolidity: effects of annealing and stress on elastic behavior of solid ⁴He
за авторством: Syshchenko, A., та інші
Опубліковано: (2008)

Двухатомная модель квантового кристалла
за авторством: Полуэктов, Ю.М.
Опубліковано: (2008)

Образование стекольной фазы в твердом ⁴Не. Вклад в давление в области суперсолид
за авторством: Григорьев, В.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Bose–Einstein condensation in a decorated lattice: an application to the problem of supersolid He
за авторством: Fil, D.V., та інші
Опубліковано: (2008)

Моделирование электрических характеристик и расчет конструктивных параметров кремниевого стабилитрона с напряжением стабилизации 6,5 В
за авторством: Dudar, N. L., та інші
Опубліковано: (2009)

ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ВЫХОДНЫХ ЦЕПЯХ ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ, РАБОТАЮЩЕГО НА НЕСТАЦИОНАРНУЮ ТЕХНОЛОГИЧЕСКУЮ НАГРУЗКУ
за авторством: Руденко, Ю.В.
Опубліковано: (2013)

ЭНЕРГИЯ ВЫХОДНОЙ ЦЕПИ ИСТОЧНИКА УСКОРЯЮЩЕГО НАПРЯЖЕНИЯ
за авторством: Мартынов , В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2015)

Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев
за авторством: Dranchuk, S. N., та інші
Опубліковано: (2013)

ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ГРАНУЛИРОВАННОЙ ТОКОПРОВОДЯЩЕЙ СРЕДЫ
за авторством: Захарченко, С.Н.
Опубліковано: (2012)

Способ аналитического определения координат источника излучения в однородной среде
за авторством: Velichko, H. V.
Опубліковано: (2015)

Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния
за авторством: Rakhmatov, A. Z., та інші
Опубліковано: (2010)

Збільшення чутливості та радіаційної стійкості сенсорів-перетворювачів температури на основі генераторів на одноперехідних транзисторах
за авторством: Vikulin, Ivan, та інші
Опубліковано: (2023)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Натуралізація інтродукованих деревних рослин у Кіровоградській області (на прикладі дендропарку у с. Новоселиця)
за авторством: Shynder, O. I.
Опубліковано: (2021)

Исследования полей ограниченного планарного диэлектрического волновода
за авторством: Провалов, С.А., та інші
Опубліковано: (2007)

DIVERSITY AND VARIABILITY OF THE CОРЕРОD BEHAVIOUR IN ENVIRONMENTAL GRADIENTS: AN OVERVIEW
за авторством: Seregin, S. A., та інші
Опубліковано: (2023)

ПРИМЕНЕНИЕ ПРОГНОЗНЫХ МЕТОДОВ ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМИ В СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРОСНАБЖЕНИЯ
за авторством: Сокол, Е.И., та інші
Опубліковано: (2014)

МОДЕЛИРОВАНИЕ ЦИКЛОКОНВЕРТОРА НА БАЗЕ ФАЗОРЕГУЛИРУЮЩЕГО ТРАНСФОРМАТОРА С КРУГОВЫМ ПРЕОБРАЗОВАНИЕМ ФАЗЫ
за авторством: Тыршу, М.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
за авторством: Dranchuk, S. M., та інші
Опубліковано: (2012)

Синтез ферромагнитных оксидов — наполнителей радиоматериалов
за авторством: Demyanchuk, B. A., та інші
Опубліковано: (2007)

Зависимость эффективности электролюминесцентных индикаторов от параметров источника питания
за авторством: Lenkov, S. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Поведение фосфора при жидкофазной восстановительной плавке
за авторством: Костяков, В.Н., та інші
Опубліковано: (2006)

Управляемый разветвитель на основе планарного гиперболического метаматериала
за авторством: Миляев, М.А., та інші
Опубліковано: (2020)

Высокоэффективные катодные элементы для газоразрядных источников света
за авторством: Sevastyanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Вторичный эталон яркости на базе галогенной лампы с рассеивателем
за авторством: Mikheenko, L. А., та інші
Опубліковано: (2008)

Моделирование термоэлектрического микрогенератора с каталитическим источником тепла на газовом топливе
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008)

СТАТИСТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕРОЯТНОСТИ ПОРАЖЕНИЯ МОЛНИЕЙ НАЗЕМНЫХ ОБЪЕКТОВ
за авторством: Сокол, Е.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние фосфора на трещиностойкость низкоуглеродистого наплавленного металла
за авторством: Рябцев, И.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние соединений фосфора на водные растения (обзор)
за авторством: Пасичная, Е.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Тенденції виникнення пожеж у лісах України
за авторством: Voron, V. P., та інші
Опубліковано: (2019)

Расчет нормальных допусков с учетом отклонений коэффициентов внешних воздействий
за авторством: Shilo, G. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Покращення параметрів планарного імпульсного діода при використанні гетерування
за авторством: Litvinenko, Viktor, та інші
Опубліковано: (2021)

Эффективные сцинтилляционные материалы на основе твердых растворов ZnS1–xTex и перспективы их применения
за авторством: Katrunov, K. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Диффузия когерентных экситонов в квазидвумерных наносистемах
за авторством: Покутний, С.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Диффузия частиц новых композиционных контактных материалов
за авторством: Павленко, Т.П.
Опубліковано: (2006)

Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)