Зображення обкладинки

Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем

The results of the development and implementation of a basic phosphorus diffusion process for the formation of the active region of a power silicon transistor are presented. It is shown that the obtained optimal technological regimes of phosphorus diffusion using a solid planar source make it possib...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автор:	Shangereeva, B. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Теми:	диффузия фосфора, активная область технологический режим транзистор твердый планарный источник электрофизические характеристики
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.1.54
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Моделирование электрических характеристик и расчет конструктивных параметров кремниевого стабилитрона с напряжением стабилизации 6,5 В
за авторством: Dudar, N. L., та інші
Опубліковано: (2009)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)

ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ГРАНУЛИРОВАННОЙ ТОКОПРОВОДЯЩЕЙ СРЕДЫ
за авторством: Захарченко, С.Н.
Опубліковано: (2012)

Эффективные сцинтилляционные материалы на основе твердых растворов ZnS1–xTex и перспективы их применения
за авторством: Katrunov, K. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев
за авторством: Dranchuk, S. N., та інші
Опубліковано: (2013)

Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния
за авторством: Rakhmatov, A. Z., та інші
Опубліковано: (2010)

СТАТИСТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕРОЯТНОСТИ ПОРАЖЕНИЯ МОЛНИЕЙ НАЗЕМНЫХ ОБЪЕКТОВ
за авторством: Сокол, Е.И., та інші
Опубліковано: (2016)

ПРИМЕНЕНИЕ ПРОГНОЗНЫХ МЕТОДОВ ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМИ В СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРОСНАБЖЕНИЯ
за авторством: Сокол, Е.И., та інші
Опубліковано: (2014)

МОДЕЛИРОВАНИЕ ЦИКЛОКОНВЕРТОРА НА БАЗЕ ФАЗОРЕГУЛИРУЮЩЕГО ТРАНСФОРМАТОРА С КРУГОВЫМ ПРЕОБРАЗОВАНИЕМ ФАЗЫ
за авторством: Тыршу, М.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
за авторством: Dranchuk, S. M., та інші
Опубліковано: (2012)

ОПТИМАЛЬНАЯ КОМПЕНСАЦИЯ ПУЛЬСАЦИЙ ПРИ НЕСИММЕТРИЧНОМ НАПРЯЖЕНИИ
за авторством: Сиротин, Ю.А.
Опубліковано: (2013)

Механизм формирования межслоевых квантовых нитей в легированном цинком Bi2Te3
за авторством: Alieva, A. P., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности морфологии фрактальных нанообъектов в кристаллах A2VB3VI
за авторством: Aliyeva, A. P., та інші
Опубліковано: (2011)

Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2015)

Методы и средства компьютерного проектирования в сети Интернет
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2008)

ТОК НЕБАЛАНСА И ТОК ПУЛЬСАЦИЙ ПРИ НЕСИММЕТРИЧНОМ НАПРЯЖЕНИИ
за авторством: Сиротин, Ю.А.
Опубліковано: (2012)

Покращення параметрів планарного імпульсного діода при використанні гетерування
за авторством: Litvinenko, Viktor, та інші
Опубліковано: (2021)

ЭНЕРГИЯ ВЫХОДНОЙ ЦЕПИ ИСТОЧНИКА УСКОРЯЮЩЕГО НАПРЯЖЕНИЯ
за авторством: Мартынов , В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Зависимость эффективности электролюминесцентных индикаторов от параметров источника питания
за авторством: Lenkov, S. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Mokritskij, V. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Способ аналитического определения координат источника излучения в однородной среде
за авторством: Velichko, H. V.
Опубліковано: (2015)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДИНАМИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ НЕЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМ РЕГУЛИРОВАНИЯ
за авторством: Верлань, Дмитро Анатолійович, та інші
Опубліковано: (2015)

ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ВЫХОДНЫХ ЦЕПЯХ ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ, РАБОТАЮЩЕГО НА НЕСТАЦИОНАРНУЮ ТЕХНОЛОГИЧЕСКУЮ НАГРУЗКУ
за авторством: Руденко, Ю.В.
Опубліковано: (2013)

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТА МАССООБМЕНА ПРИ КУЛЬТИВИРОВАНИИ МИКРООРГАНИЗМОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ МЕТОДА ДИСКРЕТНО-ИМПУЛЬСНОГО ВВОДА ЭНЕРГИИ (ДИВЭ)
за авторством: Obodovich, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)

Взаимосвязь и особенности временной и частотной форм интегральных динамических моделей
за авторством: Дячук, Олександр Анатолійович, та інші
Опубліковано: (2015)

К идентификации ядер Вольтерры в нестационарных интегральных моделях динамических систем
за авторством: Солодуша, Светлана Витальевна
Опубліковано: (2017)

Концепции литейных конвейерных линий с роторными устройствами, а также роторно- конвейерных комплексов для литья с применением вакуумирования
за авторством: Дорошенко, В. С.
Опубліковано: (2018)

ВИЗНАЧЕННЯ КІНЕТИЧНИХ ОСОБЛИВОСТЕЙ ТВЕРДОГО ПАЛИВА
за авторством: Chmel, V.N., та інші
Опубліковано: (2022)

Енергосистеми комплексного використання низькосортного твердого палива
за авторством: Poljakov V.N.
Опубліковано: (2000)

Аналіз ефективності використання твердого палива в енергетиці
за авторством: Rublevsky N.T., та інші
Опубліковано: (2000)

Аналіз перспектив використання твердого палива для теплофікаційних систем
за авторством: Tarasenko P.V., та інші
Опубліковано: (2006)

ЕНЕРГЕТИЧНА, ЕКОЛОГІЧНА ТА ЕКОНОМІЧНА ОЦІНКА ЕФЕКТИВНОСТІ ОРГАНІЗАЦІЇ ВИКОРИСТАННЯ ТВЕРДОГО БІОПАЛИВА
за авторством: Oliynyk, E.M., та інші
Опубліковано: (2020)

Про можливість збагачення високозольного твердого палива в апараті з псевдозрідженим шаром
за авторством: Yatsenko V.P.
Опубліковано: (2001)

ВПЛИВ ТЕРМОБАРИЧНОЇ ОБРОБКИ НА СТРУКТУРУ ТВЕРДОГО СПЛАВУ WC—4Cо
за авторством: Гнатенко, І. О., та інші
Опубліковано: (2018)

Врахування кінцевої швидкості поширення тепла при лазерному розігріві поверхні твердого тіла
за авторством: Porodko, L. V., та інші
Опубліковано: (2011)

ЕКОНОМІЧНА ЕФЕКТИВНІСТЬ ВИРОБНИЦТВА БІОЧАРУ ТА ТВЕРДОГО ПАЛИВА НА ОС-НОВІ БІОВУГІЛЛЯ
за авторством: Kramar, V.G., та інші
Опубліковано: (2024)

ВИВЧЕННЯ ТЕРМІЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ТВЕРДОГО ЗАЛИШКУ ТОРФУ ПІСЛЯ ЕКCТРАГУВАННЯ ГУМУСОВИХ РЕЧОВИН
за авторством: Mykhailyk, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

ДОСЛІДЖЕННЯ ВПЛИВУ РОЗПОДІЛУ ЛЕГУЮЧИХ ДОБАВОК НА СТРУКТУРУ І ВЛАСТИВОСТІ КРУПНОЗЕРНИСТОГО ТВЕРДОГО СПЛАВУ WC–20%Co
за авторством: Литошенко, H. B., та інші
Опубліковано: (2022)

МОДЕЛЮВАННЯ ГОРІННЯ ПРОДУКТІВ ГАЗИФІКАЦІЇ ТВЕРДОГО ПАЛИВА В КИПЛЯЧОМУ ШАРІ В НАДШАРОВОМУ ПРОСТОРІ З ВИХРОВИМ ДОПАЛЮВАННЯМ
за авторством: Kobzar, S.G., та інші
Опубліковано: (2021)