Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
Iridium films and layered “iridium–diamond” structures were formed on Al₂O₃, MgO, and SrTiO₃ substrates. Iridium films were deposited by magnetron sputtering, while polycluster diamond films were obtained using the microwave discharge method. The structure of iridium and diamond films was studied a...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.6.50 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859471940090068992 |
|---|---|
| author | Belyanin, A. F. Pal', A. F. Samoylovich, M. I. Suetin, N. V. Dzbanovskiy, N. N. Mitin, V. S. Pashchenko, P. V. Timofeev, M. A. |
| author_facet | Belyanin, A. F. Pal', A. F. Samoylovich, M. I. Suetin, N. V. Dzbanovskiy, N. N. Mitin, V. S. Pashchenko, P. V. Timofeev, M. A. |
| author_sort | Belyanin, A. F. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-10T19:38:07Z |
| description |
Iridium films and layered “iridium–diamond” structures were formed on Al₂O₃, MgO, and SrTiO₃ substrates. Iridium films were deposited by magnetron sputtering, while polycluster diamond films were obtained using the microwave discharge method. The structure of iridium and diamond films was studied as a function of deposition conditions. The potential applications of polycluster diamond films as heat sinks for hybrid integrated circuits and as control grids in electronic devices are discussed.
|
| first_indexed | 2026-03-12T15:50:31Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-812 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-12T15:50:31Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8122026-03-10T19:38:07Z Formation of nanostructured iridium and polycluster diamond film Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза Belyanin, A. F. Pal', A. F. Samoylovich, M. I. Suetin, N. V. Dzbanovskiy, N. N. Mitin, V. S. Pashchenko, P. V. Timofeev, M. A. nanostructured iridium and diamond films magnetron sputtering microwave discharge microelectronics наноструктурированные пленки иридия и алмаза магнетронное распыление СВЧ-разряд микроэлектроника Iridium films and layered “iridium–diamond” structures were formed on Al₂O₃, MgO, and SrTiO₃ substrates. Iridium films were deposited by magnetron sputtering, while polycluster diamond films were obtained using the microwave discharge method. The structure of iridium and diamond films was studied as a function of deposition conditions. The potential applications of polycluster diamond films as heat sinks for hybrid integrated circuits and as control grids in electronic devices are discussed. На подложках из Al2O3, MgO и SrTiO3 сформированы пленки Ir и слоистые структуры "иридий-алмаз". Пленки Ir получали магнетронным распылением, пленки поликластерного алмаза - методом СВЧ-разряда. Изучено строение пленок Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов гибридных интегральных схем и управляющих сеток электронных приборов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.6.50 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 50-56 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 50-56 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.6.50/735 Copyright (c) 2007 Belyanin A. F., Pal' A. F., Samoylovich M. I., Suetin N. V., Dzbanovskiy N. N., Mitin V. S., Pashchenko P. V., Timofeev M. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | наноструктурированные пленки иридия и алмаза магнетронное распыление СВЧ-разряд микроэлектроника Belyanin, A. F. Pal', A. F. Samoylovich, M. I. Suetin, N. V. Dzbanovskiy, N. N. Mitin, V. S. Pashchenko, P. V. Timofeev, M. A. Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_alt | Formation of nanostructured iridium and polycluster diamond film |
| title_full | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_fullStr | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_full_unstemmed | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_short | Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| title_sort | формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза |
| topic | наноструктурированные пленки иридия и алмаза магнетронное распыление СВЧ-разряд микроэлектроника |
| topic_facet | nanostructured iridium and diamond films magnetron sputtering microwave discharge microelectronics наноструктурированные пленки иридия и алмаза магнетронное распыление СВЧ-разряд микроэлектроника |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.6.50 |
| work_keys_str_mv | AT belyaninaf formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT palaf formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT samoylovichmi formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT suetinnv formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT dzbanovskiynn formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT mitinvs formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT pashchenkopv formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT timofeevma formationofnanostructurediridiumandpolyclusterdiamondfilm AT belyaninaf formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT palaf formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT samoylovichmi formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT suetinnv formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT dzbanovskiynn formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT mitinvs formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT pashchenkopv formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza AT timofeevma formirovanienanostrukturirovannyhplenokiridiâipoliklasternogoalmaza |