Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered.
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859600911433728000 |
|---|---|
| author | Belousov, I. V. |
| author_facet | Belousov, I. V. |
| author_sort | Belousov, I. V. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-13T10:31:40Z |
| description | The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered. |
| first_indexed | 2026-03-14T02:00:27Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-828 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-14T02:00:27Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8282026-03-13T10:31:40Z Directed crystallization of silicide films on silicon substrate Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке Belousov, I. V. self-organized structures lateral growth local nucleation silicide phase integrated circuit самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered. Исследованы процессы локального зарождения и последующей направленной латеральной кристаллизации силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния. Рассмотрены возможности создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-10-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 54-57 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 54-57 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54/750 Copyright (c) 2007 Belousov I. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема Belousov, I. V. Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_alt | Directed crystallization of silicide films on silicon substrate |
| title_full | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_fullStr | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_full_unstemmed | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_short | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_sort | направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| topic | самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема |
| topic_facet | self-organized structures lateral growth local nucleation silicide phase integrated circuit самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54 |
| work_keys_str_mv | AT belousoviv directedcrystallizationofsilicidefilmsonsiliconsubstrate AT belousoviv napravlennaâkristallizaciâsilicidnyhplenoknakremnievojpodložke |