Buchumschlag

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
1. Verfasser:	Belousov, I. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:	самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гибридная интегральная схема для обработки звукового сигнала
von: Koval’chuk, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2013)

Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии
von: Sidorenko, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2016)

УСЛОВИЯ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И РОСТА ТРЕЩИН В РОТОРЕ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ВСЛЕДСТВИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ В АНОРМАЛЬНЫХ РЕЖИМАХ
von: Tитко , A.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
von: Колендовский, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
von: Иванов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
von: Храмов, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
von: Лень, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
von: Ермолаев, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Bobrenko, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Импактные структуры в морях и океанах
von: Гуров, Е.П.
Veröffentlicht: (2016)

Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
von: Фальковский, Л.А.
Veröffentlicht: (2011)

Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
von: Kagan, M.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Двумерный оператор Паули в магнитном поле
von: Гриневич, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ ДАТЧИК ВМІСТУ ВОДИ В СКРАПЛЕНОМУ ГАЗІ
von: Тужанський, С. Є., et al.
Veröffentlicht: (2014)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
von: Городний , А.Н.
Veröffentlicht: (2012)

Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
von: Вербицкий, В.Г.
Veröffentlicht: (2002)

ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H
von: Иващенко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2013)

Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhinin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кристаллизация металла в процессах переплава
von: Митчелл, А.
Veröffentlicht: (2008)

Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Изменение морфологической структуры конденсированных пленок Sn, Bi и Sn-Bi на С-подложке при плавлении ↔ кристаллизации
von: Гладких, Н.Т., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhynin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Кристаллизация аморфного диоксида циркония, легированного хромом
von: Ящишин, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Получение и физико-механические свойства оксидно-силицидных покрытий на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
von: Сокол, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Модуляционные характеристики вектора Стокса оптического излучения при деформациях сжатия–растяжения пленок иттриевых феррит-гранатов на немагнитной подложке
von: Шевченко, Т.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

ЧАСТОТНО-ФАЗОВЫЕ ЛАЗЕРНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ И ВИБРАЦИЙ С ОПТИЧЕСКОЙ КАЛИБРОВКОЙ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
von: Гасанов, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Особенности проектирования внутренних цепей питания микромощных БИС на основе элементов инжекционной логики
von: Belous, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Закрытая направленная ангио-миопластика устья позвоночной артерии у новорожденных с травмой шейного отдела позвоночника
von: Волкодав, О.В.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние силицидных покрытий на прочностные и пластические свойства сплава 5ВМЦ
von: Глушко, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Полибарическая кристаллизация анортозитов Коростенского плутона (Украинский щит)
von: Митрохин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Выделение и кристаллизация рибосомного белка TS9
von: Агаларов, С.Ч., et al.
Veröffentlicht: (1989)