Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC

• Date: 2007
• Main Authors: Lopin, A. V., Semenov, A. V., Puzikov, V. M.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
• Subjects: волоконно-оптические датчики температуры; нанокристаллические пленки карбида кремния; прямое ионное осаждение; интерферометр Фабри-Перо
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.19
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

An interference temperature sensor has been developed using nanocrystalline films of cubic silicon carbide deposited directly by ion flow onto a leucosapphire substrate. The optical properties and thermal sensitivity of the “nanocrystalline SiC film/leucosapphire” structures have been measured and a...