Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Methods and types of figures for optical proximity correction are considered. The lithography process was simulated using the discussed correction figures, and the modeling results were experimentally verified
Gespeichert in:
| Datum: | 2007 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859691501225771008 |
|---|---|
| author | Rodionov, I. A. Makarchuk, V. V. |
| author_facet | Rodionov, I. A. Makarchuk, V. V. |
| author_sort | Rodionov, I. A. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-14T11:44:24Z |
| description | Methods and types of figures for optical proximity correction are considered. The lithography process was simulated using the discussed correction figures, and the modeling results were experimentally verified |
| first_indexed | 2026-03-15T02:00:21Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-847 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-15T02:00:21Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8472026-03-14T11:44:24Z Optical proximity correction in IC design Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Rodionov, I. A. Makarchuk, V. V. lithography optical proximity correction design simulation литография коррекция эффект близости моделирование Methods and types of figures for optical proximity correction are considered. The lithography process was simulated using the discussed correction figures, and the modeling results were experimentally verified Рассмотрены методы и типы фигур коррекции оптического эффекта близости. Проведено моделирование процесса фотолитографии с использованием рассмотренных фигур. Результаты моделирования подтверждены экспериментом. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-06-29 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30 Technology and design in electronic equipment; No. 3 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 30-32 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 3 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 30-32 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30/769 Copyright (c) 2007 Rodionov I. A., Makarchuk V. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | литография коррекция эффект близости моделирование Rodionov, I. A. Makarchuk, V. V. Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_alt | Optical proximity correction in IC design |
| title_full | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_fullStr | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_full_unstemmed | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_short | Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| title_sort | коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем |
| topic | литография коррекция эффект близости моделирование |
| topic_facet | lithography optical proximity correction design simulation литография коррекция эффект близости моделирование |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30 |
| work_keys_str_mv | AT rodionovia opticalproximitycorrectioninicdesign AT makarchukvv opticalproximitycorrectioninicdesign AT rodionovia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem AT makarchukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem |