Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов

Results of studies on ohmic contacts based on Ni/Au films to the p-type GaN region are presented. The influence of Ni/Au layer thickness, deposition conditions, and contact formation regimes on specific contact resistance, element redistribution in metal–semiconductor structures, and optical propert...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Bosiy, V. I., Danilov, N. G., Cohan, V. P., Novitskiy, V. А., Semashko, Е. М., Tkachenko, V. V., Shponiak, T. A.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.43
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1859691503304048641
author Bosiy, V. I.
Danilov, N. G.
Cohan, V. P.
Novitskiy, V. А.
Semashko, Е. М.
Tkachenko, V. V.
Shponiak, T. A.
author_facet Bosiy, V. I.
Danilov, N. G.
Cohan, V. P.
Novitskiy, V. А.
Semashko, Е. М.
Tkachenko, V. V.
Shponiak, T. A.
author_sort Bosiy, V. I.
baseUrl_str
collection OJS
datestamp_date 2026-03-14T11:44:24Z
description Results of studies on ohmic contacts based on Ni/Au films to the p-type GaN region are presented. The influence of Ni/Au layer thickness, deposition conditions, and contact formation regimes on specific contact resistance, element redistribution in metal–semiconductor structures, and optical properties of the contact system has been investigated. Ohmic contacts (Ni/Au)/p-GaN with a specific contact resistance of (1–2)·10⁻³ Ω·cm² and transparency of 78% at a wavelength of 460 nm have been obtained.
first_indexed 2026-03-15T02:00:23Z
format Article
id oai:tkea.com.ua:article-851
institution Technology and design in electronic equipment
keywords_txt_mv keywords
language Ukrainian
last_indexed 2026-03-15T02:00:23Z
publishDate 2007
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-8512026-03-14T11:44:24Z Formation of transparent ohmic contacts to p-GaN for light-emitting diodes Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов Bosiy, V. I. Danilov, N. G. Cohan, V. P. Novitskiy, V. А. Semashko, Е. М. Tkachenko, V. V. Shponiak, T. A. light-emitting diode ohmic contact p-GaN region Ni/Au film светоизлучающий диод омический контакт р-область GaN пленка Ni/Au Results of studies on ohmic contacts based on Ni/Au films to the p-type GaN region are presented. The influence of Ni/Au layer thickness, deposition conditions, and contact formation regimes on specific contact resistance, element redistribution in metal–semiconductor structures, and optical properties of the contact system has been investigated. Ohmic contacts (Ni/Au)/p-GaN with a specific contact resistance of (1–2)·10⁻³ Ω·cm² and transparency of 78% at a wavelength of 460 nm have been obtained. Приведены результаты исследований омических контактов на основе пленок Ni-Au к р-области нитрида галлия. Проведены исследования влияния толщины слоев Ni/Au, условий нанесения и формирования контакта на удельное контактное сопротивление, перераспределение элементов в структурах "металл-полупроводник" и оптические свойства контактной системы. Получены омические контакты (Ni-Au)/р-GaN с удельным контактным сопротивлением (1–2)·10–3 Ом·см2 и прозра­чностью 78% на длине волны 460 нм. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-06-29 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.43 Technology and design in electronic equipment; No. 3 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 43-45 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 3 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 43-45 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.43/773 Copyright (c) 2007 Bosiy V. I., Danilov N. G., Cohan V. P., Novitskiy V. А., Semashko Е. М., Tkachenko V. V., Shponiak T. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle светоизлучающий диод
омический контакт
р-область GaN
пленка Ni/Au
Bosiy, V. I.
Danilov, N. G.
Cohan, V. P.
Novitskiy, V. А.
Semashko, Е. М.
Tkachenko, V. V.
Shponiak, T. A.
Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_alt Formation of transparent ohmic contacts to p-GaN for light-emitting diodes
title_full Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_fullStr Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_full_unstemmed Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_short Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
title_sort формирование прозрачных омических контактов к р-gan для светоизлучающих диодов
topic светоизлучающий диод
омический контакт
р-область GaN
пленка Ni/Au
topic_facet light-emitting diode
ohmic contact
p-GaN region
Ni/Au film
светоизлучающий диод
омический контакт
р-область GaN
пленка Ni/Au
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.43
work_keys_str_mv AT bosiyvi formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT danilovng formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT cohanvp formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT novitskiyva formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT semashkoem formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT tkachenkovv formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT shponiakta formationoftransparentohmiccontactstopganforlightemittingdiodes
AT bosiyvi formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT danilovng formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT cohanvp formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT novitskiyva formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT semashkoem formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT tkachenkovv formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov
AT shponiakta formirovanieprozračnyhomičeskihkontaktovkrgandlâsvetoizlučaûŝihdiodov