Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
An automated spectrometer for investigating the parameters of impurity and defect centers in semiconductors and semiconductor structures using deep-level transient spectroscopy is described. A developed software package for control and data processing enables automation of measurement procedures and...
Gespeichert in:
| Datum: | 2007 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.59 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859691503334457344 |
|---|---|
| author | Boiko, Yu. V. Kuznetsov, G. V. Savitsky, S. М. Tretyak, O. V. |
| author_facet | Boiko, Yu. V. Kuznetsov, G. V. Savitsky, S. М. Tretyak, O. V. |
| author_sort | Boiko, Yu. V. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-14T11:44:24Z |
| description | An automated spectrometer for investigating the parameters of impurity and defect centers in semiconductors and semiconductor structures using deep-level transient spectroscopy is described. A developed software package for control and data processing enables automation of measurement procedures and increases the accuracy of the obtained results. |
| first_indexed | 2026-03-15T02:00:23Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-856 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-15T02:00:23Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8562026-03-14T11:44:24Z Automated deep-level spectrometer for the study of semiconductor structures Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур Boiko, Yu. V. Kuznetsov, G. V. Savitsky, S. М. Tretyak, O. V. relaxation spectrometer deep levels impurity and defect centers релаксационный спектрометр глубокие уровни примесные и дефектные центры An automated spectrometer for investigating the parameters of impurity and defect centers in semiconductors and semiconductor structures using deep-level transient spectroscopy is described. A developed software package for control and data processing enables automation of measurement procedures and increases the accuracy of the obtained results. Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных центров в полупроводниках и полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней. Разработка набора программ для управления и обработки данных позволяет автоматизировать процессы измерения и увеличить точность полученных результатов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-06-29 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.59 Technology and design in electronic equipment; No. 3 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 59-61 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 3 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 59-61 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.59/778 Copyright (c) 2007 Boiko Yu. V., Kuznetsov G. V., Savitsky S. М., Tretyak O. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | релаксационный спектрометр глубокие уровни примесные и дефектные центры Boiko, Yu. V. Kuznetsov, G. V. Savitsky, S. М. Tretyak, O. V. Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title | Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_alt | Automated deep-level spectrometer for the study of semiconductor structures |
| title_full | Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_fullStr | Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_full_unstemmed | Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_short | Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| title_sort | aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур |
| topic | релаксационный спектрометр глубокие уровни примесные и дефектные центры |
| topic_facet | relaxation spectrometer deep levels impurity and defect centers релаксационный спектрометр глубокие уровни примесные и дефектные центры |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.59 |
| work_keys_str_mv | AT boikoyuv automateddeeplevelspectrometerforthestudyofsemiconductorstructures AT kuznetsovgv automateddeeplevelspectrometerforthestudyofsemiconductorstructures AT savitskysm automateddeeplevelspectrometerforthestudyofsemiconductorstructures AT tretyakov automateddeeplevelspectrometerforthestudyofsemiconductorstructures AT boikoyuv avtomatizirovannyjspektrometrglubokihurovnejdlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT kuznetsovgv avtomatizirovannyjspektrometrglubokihurovnejdlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT savitskysm avtomatizirovannyjspektrometrglubokihurovnejdlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur AT tretyakov avtomatizirovannyjspektrometrglubokihurovnejdlâissledovaniâpoluprovodnikovyhstruktur |