Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур

An automated spectrometer for investigating the parameters of impurity and defect centers in semiconductors and semiconductor structures using deep-level transient spectroscopy is described. A developed software package for control and data processing enables automation of measurement procedures and...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Boiko, Yu. V., Kuznetsov, G. V., Savitsky, S. М., Tretyak, O. V.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.59
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Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

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