Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
An automated optical positioning system for photomasks of integrated circuits has been developed. The image processing methods are based on hyperbolic wavelet transforms and the calculation of geometric moment features of fiducial marks. The system demonstrates high noise immunity and accuracy.
Gespeichert in:
| Datum: | 2007 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.61 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859691503322923008 |
|---|---|
| author | Krylov, V. N. Shcherbakova, G. Yu. Kozina, Yu. Yu. |
| author_facet | Krylov, V. N. Shcherbakova, G. Yu. Kozina, Yu. Yu. |
| author_sort | Krylov, V. N. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-14T11:44:24Z |
| description | An automated optical positioning system for photomasks of integrated circuits has been developed. The image processing methods are based on hyperbolic wavelet transforms and the calculation of geometric moment features of fiducial marks. The system demonstrates high noise immunity and accuracy. |
| first_indexed | 2026-03-15T02:00:23Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-857 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-15T02:00:23Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8572026-03-14T11:44:24Z Image alignment of photomasks in automated optical inspection systems Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля Krylov, V. N. Shcherbakova, G. Yu. Kozina, Yu. Yu. photomask automated optical inspection systems fiducial marks hyperbolic wavelet transform фотошаблон системы автоматизированного оптического контроля реперные знаки гиперболическое вейвлет-преобразование An automated optical positioning system for photomasks of integrated circuits has been developed. The image processing methods are based on hyperbolic wavelet transforms and the calculation of geometric moment features of fiducial marks. The system demonstrates high noise immunity and accuracy. Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая базируется на применении гиперболического вейвлет-преобразования, на расчете геометрических моментов-признаков реперных знаков и имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-06-29 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.61 Technology and design in electronic equipment; No. 3 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 61-64 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 3 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 61-64 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.61/779 Copyright (c) 2007 Krylov V. N., Shcherbakova G. Yu., Kozina Yu. Yu. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | фотошаблон системы автоматизированного оптического контроля реперные знаки гиперболическое вейвлет-преобразование Krylov, V. N. Shcherbakova, G. Yu. Kozina, Yu. Yu. Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_alt | Image alignment of photomasks in automated optical inspection systems |
| title_full | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_fullStr | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_full_unstemmed | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_short | Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| title_sort | позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля |
| topic | фотошаблон системы автоматизированного оптического контроля реперные знаки гиперболическое вейвлет-преобразование |
| topic_facet | photomask automated optical inspection systems fiducial marks hyperbolic wavelet transform фотошаблон системы автоматизированного оптического контроля реперные знаки гиперболическое вейвлет-преобразование |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.61 |
| work_keys_str_mv | AT krylovvn imagealignmentofphotomasksinautomatedopticalinspectionsystems AT shcherbakovagyu imagealignmentofphotomasksinautomatedopticalinspectionsystems AT kozinayuyu imagealignmentofphotomasksinautomatedopticalinspectionsystems AT krylovvn pozicionirovanieizobraženijfotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT shcherbakovagyu pozicionirovanieizobraženijfotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ AT kozinayuyu pozicionirovanieizobraženijfotošablonovvsistemahavtomatizirovannogooptičeskogokontrolâ |