Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
An automated optical positioning system for photomasks of integrated circuits has been developed. The image processing methods are based on hyperbolic wavelet transforms and the calculation of geometric moment features of fiducial marks. The system demonstrates high noise immunity and accuracy.
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.61 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |