Технологии изготовления фотонных кристаллов
A review of methods for fabricating photonic crystals for nanophotonic integrated circuits is presented. A comparative analysis of existing technologies has been carried out. The prospects of applying these technologies under industrial production conditions of devices based on photonic crystals are...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.1.45 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1860416287069437952 |
|---|---|
| author | Berezianskyi, B. M. |
| author_facet | Berezianskyi, B. M. |
| author_sort | Berezianskyi, B. M. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-22T19:56:44Z |
| description | A review of methods for fabricating photonic crystals for nanophotonic integrated circuits is presented. A comparative analysis of existing technologies has been carried out. The prospects of applying these technologies under industrial production conditions of devices based on photonic crystals are considered. Conclusions are drawn regarding the use of methods in various industrial environments. |
| first_indexed | 2026-03-23T02:00:30Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-888 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-23T02:00:30Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8882026-03-22T19:56:44Z Technologies for fabrication of photonic crystals Технологии изготовления фотонных кристаллов Berezianskyi, B. M. photonic crystals lithography methods molecular technologies фотонные кристаллы методы литографии молекулярные технологии A review of methods for fabricating photonic crystals for nanophotonic integrated circuits is presented. A comparative analysis of existing technologies has been carried out. The prospects of applying these technologies under industrial production conditions of devices based on photonic crystals are considered. Conclusions are drawn regarding the use of methods in various industrial environments. Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных интегральных микросхем. Проведен сравнительный анализ существующих технологий. Рассмотрены перспективы применения этих технологий в условиях промышленного производства устройств на основе фотонных кристаллов. Сделаны выводы по применению методов в различных промышленных условиях. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-02-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.1.45 Technology and design in electronic equipment; No. 1 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 45-51 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 1 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 45-51 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.1.45/808 Copyright (c) 2007 Berezianskyi B. M. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | фотонные кристаллы методы литографии молекулярные технологии Berezianskyi, B. M. Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_alt | Technologies for fabrication of photonic crystals |
| title_full | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_fullStr | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_full_unstemmed | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_short | Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_sort | технологии изготовления фотонных кристаллов |
| topic | фотонные кристаллы методы литографии молекулярные технологии |
| topic_facet | photonic crystals lithography methods molecular technologies фотонные кристаллы методы литографии молекулярные технологии |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.1.45 |
| work_keys_str_mv | AT berezianskyibm technologiesforfabricationofphotoniccrystals AT berezianskyibm tehnologiiizgotovleniâfotonnyhkristallov |