Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
ZnO films were obtained by RF magnetron sputtering. An additional magnetic field was applied using a magnetic system placed behind the substrate holder. The influence of process parameters on the structure and functional properties of the films was established. ZnO films were employed in the develop...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.6.48 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1861137315608395776 |
|---|---|
| author | Belyanin, A. F. Krivchenko, V. A. Lopaev, D. V. Pavlushkin, L. V. Paschenko, P. V. Pirogov, V. G. Polyakov, S. N. Suetin, N. V. Sushentsov, N. I. Suetin, N. V. |
| author_facet | Belyanin, A. F. Krivchenko, V. A. Lopaev, D. V. Pavlushkin, L. V. Paschenko, P. V. Pirogov, V. G. Polyakov, S. N. Suetin, N. V. Sushentsov, N. I. Suetin, N. V. |
| author_sort | Belyanin, A. F. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-30T21:05:12Z |
| description | ZnO films were obtained by RF magnetron sputtering. An additional magnetic field was applied using a magnetic system placed behind the substrate holder. The influence of process parameters on the structure and functional properties of the films was established. ZnO films were employed in the development of surface acoustic wave filters and ultraviolet mirrors |
| first_indexed | 2026-03-31T01:00:57Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-907 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-31T01:00:57Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-9072026-03-30T21:05:12Z Nanostructured ZnO films for microelectronics and optical devices Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики Belyanin, A. F. Krivchenko, V. A. Lopaev, D. V. Pavlushkin, L. V. Paschenko, P. V. Pirogov, V. G. Polyakov, S. N. Suetin, N. V. Sushentsov, N. I. Suetin, N. V. ZnO films magnetron sputtering electronics optics пленки ZnO магнетронное распыление электроника оптика ZnO films were obtained by RF magnetron sputtering. An additional magnetic field was applied using a magnetic system placed behind the substrate holder. The influence of process parameters on the structure and functional properties of the films was established. ZnO films were employed in the development of surface acoustic wave filters and ultraviolet mirrors Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем. Установлено влияние параметров процесса на строение и функциональные свойства пленок. Пленки ZnO использовались при создании фильтров на поверхностных акустических волнах и зеркал УФ-диапазона. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006-02-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.6.48 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2006): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 48-55 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 48-55 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.6.48/822 Copyright (c) 2006 A. F. Belyanin, V. A. Krivchenko, D. V. Lopaev, L. V. Pavlushkin, P. V. Paschenko, V. G. Pirogov, S. N. Polyakov, N. V. Suetin, N. I. Sushentsov http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | пленки ZnO магнетронное распыление электроника оптика Belyanin, A. F. Krivchenko, V. A. Lopaev, D. V. Pavlushkin, L. V. Paschenko, P. V. Pirogov, V. G. Polyakov, S. N. Suetin, N. V. Sushentsov, N. I. Suetin, N. V. Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_alt | Nanostructured ZnO films for microelectronics and optical devices |
| title_full | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_fullStr | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_full_unstemmed | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_short | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_sort | наноструктурированные пленки zno для устройств микроэлектроники и оптики |
| topic | пленки ZnO магнетронное распыление электроника оптика |
| topic_facet | ZnO films magnetron sputtering electronics optics пленки ZnO магнетронное распыление электроника оптика |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.6.48 |
| work_keys_str_mv | AT belyaninaf nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT krivchenkova nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT lopaevdv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT pavlushkinlv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT paschenkopv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT pirogovvg nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT polyakovsn nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT suetinnv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT sushentsovni nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT suetinnv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT belyaninaf nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT krivchenkova nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT lopaevdv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT pavlushkinlv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT paschenkopv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT pirogovvg nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT polyakovsn nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT suetinnv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT sushentsovni nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT suetinnv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki |