Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
The effect of atomic hydrogen on silicon single crystals was investigated at 300–310 K, with a chamber pressure of 20 Pa and an atomic hydrogen concentration of about 1019 m–1. Silicon samples of both conductivity types, including n-type Si with (100) and (111) orientations, were treated in an atomi...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | Zhavzharov, E. L., Matushin, V. M. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.4.61 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
Стимулируемая водородом миграция атомов металлов в структурах «металл — полупроводник»
за авторством: Matyushin, V. M., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Matyushin, V. M., та інші
Опубліковано: (2012)
Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Fermi surface and effect of high magnetic fields on the metal–semimetal Peierls-like transition of (TSeT)₂Cl
за авторством: Laukhin, V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Laukhin, V., та інші
Опубліковано: (2014)
Взаимодействие биологически активных молекул с поверхностью высокодисперсного кремнезема в водной среде: квантовохимическое исследование
за авторством: Казакова, О.А.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Казакова, О.А.
Опубліковано: (2011)
Probing the Fermi surface by positron annihilation and Compton scattering
за авторством: Dugdale, S.B.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dugdale, S.B.
Опубліковано: (2014)
Особенности электронной структуры слоистых сверхпроводников RNi₂B₂C, RFe₄Al₈ и FeSe
за авторством: Логоша, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Логоша, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Электронный топологический переход Лифшица и сложные магнитные структуры в тяжелых редкоземельных металлах
за авторством: Андрианов, А.В.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Андрианов, А.В.
Опубліковано: (2014)
Квантовохімічне моделювання взаємодії атомарного хлору з поверхнею кварцу
за авторством: Дем’яненко, Є.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Дем’яненко, Є.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
ВЛИЯНИЕ НАВЕДЕННОГО ПОТЕНЦИАЛА СЕКЦИЙ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ДЕЛИТЕЛЯ НАПРЯЖЕНИЯ НА ЕГО ХАРАКТЕРИСТИКИ
за авторством: Анохин, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Анохин, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (2012)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
Взаимодействие водорода с неметаллическими включениями
за авторством: Приходько, Э.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Приходько, Э.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Взаимодействие водорода с порошками железа
за авторством: Толстенко, А.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Толстенко, А.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Взаимодействие водорода с деформированным металлом
за авторством: Пальцевич, А.П., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Пальцевич, А.П., та інші
Опубліковано: (2014)
Взаимодействие высокодисперсного кремнезема с некоторыми лекарственными веществами
за авторством: Власова, Н.Н.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Власова, Н.Н.
Опубліковано: (2016)
Сравнительное масс-спектрометрическое исследование взаимодействия линейного и разветвленного гомологов: валериановой и пивалиновой кислот с поверхностью кремнезема
за авторством: Кулик, Т.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Кулик, Т.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Закономерности адсорбционных взаимодействий природных биоактивных молекул с поверхностью нанодисперсного кремнезема в лекарственных композитах
за авторством: Чуйко, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Чуйко, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Взаимодействие уксусной и винной кислот с природными минералами
за авторством: Галаган, Н.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Галаган, Н.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Разработка методики получения и исследование свойств концентрированных водных дисперсий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезёма с низкой удельной поверхностью
за авторством: Гайшун, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Гайшун, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Lougin, A. N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Lougin, A. N., та інші
Опубліковано: (2006)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Взаимодействие трихлоридов фосфора с поверхностью кремнезема в присутствии триэтиламина
за авторством: Богатырев В.М.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Богатырев В.М.
Опубліковано: (2000)
Термодинамика атомарного монослоя с двухатомными примесями замещения
за авторством: Полтавская, М.И., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Полтавская, М.И., та інші
Опубліковано: (2000)
Взаимодействие электромагнитного излучения с веществом: некоторые направления развития исследований и перспективы практического использования
за авторством: Махно, С.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Махно, С.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ ВНЕШНИМ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ ТЕХНИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Взаимодействие углеродных нанотрубок с низкотемпературной плазмой кислорода и водорода
за авторством: Чеховский, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Чеховский, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Взаимодействие водорода и азота с нитридом углерода C₃N₄
за авторством: Токий, Н.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Токий, Н.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K2Cr2O7–HBr
за авторством: Pavlovich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Pavlovich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
Схожі ресурси
-
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006) -
Стимулируемая водородом миграция атомов металлов в структурах «металл — полупроводник»
за авторством: Matyushin, V. M., та інші
Опубліковано: (2012) -
Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015) -
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008) -
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)