Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
A generalized methodology for modeling kinetic processes of gas-phase formation and the transport of components under nonequilibrium concentration fields in inhomogeneous temperature conditions is proposed. Probabilistic methods were used to calculate mass transfer characteristics. A system of diffu...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.3.50 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1862043265199505408 |
|---|---|
| author | Voronin, V. O. Guba, S. K. Sivers, V. N. |
| author_facet | Voronin, V. O. Guba, S. K. Sivers, V. N. |
| author_sort | Voronin, V. O. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-09T19:54:43Z |
| description | A generalized methodology for modeling kinetic processes of gas-phase formation and the transport of components under nonequilibrium concentration fields in inhomogeneous temperature conditions is proposed. Probabilistic methods were used to calculate mass transfer characteristics. A system of diffusion equations in integral form is presented. Solutions of these equations for specific systems and reactors make it possible to determine nonequilibrium component concentrations as functions of spatial coordinates and time within the reactor volume. |
| first_indexed | 2026-04-10T01:00:37Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-959 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-10T01:00:37Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-9592026-04-09T19:54:43Z Generalized theoretical approach to the analysis of gas-phase epitaxy processes Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии Voronin, V. O. Guba, S. K. Sivers, V. N. gas-phase epitaxy mathematical modeling reactor газофазная эпитаксия математическое моделирование реактор A generalized methodology for modeling kinetic processes of gas-phase formation and the transport of components under nonequilibrium concentration fields in inhomogeneous temperature conditions is proposed. Probabilistic methods were used to calculate mass transfer characteristics. A system of diffusion equations in integral form is presented. Solutions of these equations for specific systems and reactors make it possible to determine nonequilibrium component concentrations as functions of spatial coordinates and time within the reactor volume. Предложена методология обобщенного подхода к моделированию кинетических процессов формирования газовой фазы, процессов переноса составных веществ в поле неравновесных концентраций в условиях неоднородного температурного поля. Использовались вероятностные методы расчета характеристик массопереноса. Представлена система уравнений диффузии в интегральном виде. Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006-06-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.3.50 Technology and design in electronic equipment; No. 3 (2006): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 50-55 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 3 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 50-55 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.3.50/871 Copyright (c) 2006 Voronin V. O., Guba S. K., Sivers V. N. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | газофазная эпитаксия математическое моделирование реактор Voronin, V. O. Guba, S. K. Sivers, V. N. Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_alt | Generalized theoretical approach to the analysis of gas-phase epitaxy processes |
| title_full | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_fullStr | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_full_unstemmed | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_short | Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| title_sort | обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии |
| topic | газофазная эпитаксия математическое моделирование реактор |
| topic_facet | gas-phase epitaxy mathematical modeling reactor газофазная эпитаксия математическое моделирование реактор |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.3.50 |
| work_keys_str_mv | AT voroninvo generalizedtheoreticalapproachtotheanalysisofgasphaseepitaxyprocesses AT gubask generalizedtheoreticalapproachtotheanalysisofgasphaseepitaxyprocesses AT siversvn generalizedtheoreticalapproachtotheanalysisofgasphaseepitaxyprocesses AT voroninvo obobŝennyjteoretičeskijpodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT gubask obobŝennyjteoretičeskijpodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii AT siversvn obobŝennyjteoretičeskijpodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii |