Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
A generalized methodology for modeling kinetic processes of gas-phase formation and the transport of components under nonequilibrium concentration fields in inhomogeneous temperature conditions is proposed. Probabilistic methods were used to calculate mass transfer characteristics. A system of diffu...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.3.50 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |