Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика
A capacitive sensor with a grid or perforated structure is proposed for monitoring coating thickness in vacuum. The method is based on the dependence of capacitor capacitance on the distance between its plates: during material deposition, the capacitance is measured, and its increment indicates the...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1862133852881813504 |
|---|---|
| author | Istomin, A. S. Semenov, E. I. |
| author_facet | Istomin, A. S. Semenov, E. I. |
| author_sort | Istomin, A. S. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-10T16:50:53Z |
| description | A capacitive sensor with a grid or perforated structure is proposed for monitoring coating thickness in vacuum. The method is based on the dependence of capacitor capacitance on the distance between its plates: during material deposition, the capacitance is measured, and its increment indicates the thickness of the applied coating. The authors developed an automated computer system for monitoring coating thickness and created a program for analyzing the deposition process. |
| first_indexed | 2026-04-11T01:00:28Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-975 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-11T01:00:28Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-9752026-04-10T16:50:53Z Measurement of coating thickness during deposition using a capacitive sensor Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика Istomin, A. S. Semenov, E. I. automation capacitive sensor film thickness thin films computer control system автоматизация емкостной датчик толщина пленки тонкие пленки компьютерная система контроля A capacitive sensor with a grid or perforated structure is proposed for monitoring coating thickness in vacuum. The method is based on the dependence of capacitor capacitance on the distance between its plates: during material deposition, the capacitance is measured, and its increment indicates the thickness of the applied coating. The authors developed an automated computer system for monitoring coating thickness and created a program for analyzing the deposition process. Для контроля толщины покрытий в вакууме предлагается емкостный датчик, выполненный с применением сетки или перфорации. Предлагаемый метод основан на зависимости емкости конденсатора от расстояния между его обкладками - в процессе осаждения материала измеряется емкость конденсатора, и ее приращение позволяет судить о толщине нанесенного покрытия. Авторами создана автоматизированная компьютерная система контроля толщины покрытий и разработана программа для анализа процесса нанесения материала. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006-04-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49 Technology and design in electronic equipment; No. 2 (2006): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 49-51 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 2 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 49-51 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49/886 Copyright (c) 2006 Istomin A. S., Semenov E. I. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | автоматизация емкостной датчик толщина пленки тонкие пленки компьютерная система контроля Istomin, A. S. Semenov, E. I. Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика |
| title | Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика |
| title_alt | Measurement of coating thickness during deposition using a capacitive sensor |
| title_full | Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика |
| title_fullStr | Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика |
| title_full_unstemmed | Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика |
| title_short | Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика |
| title_sort | измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика |
| topic | автоматизация емкостной датчик толщина пленки тонкие пленки компьютерная система контроля |
| topic_facet | automation capacitive sensor film thickness thin films computer control system автоматизация емкостной датчик толщина пленки тонкие пленки компьютерная система контроля |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49 |
| work_keys_str_mv | AT istominas measurementofcoatingthicknessduringdepositionusingacapacitivesensor AT semenovei measurementofcoatingthicknessduringdepositionusingacapacitivesensor AT istominas izmerenietolŝinypokrytijvprocesseihnaneseniâspomoŝʹûemkostnogodatčika AT semenovei izmerenietolŝinypokrytijvprocesseihnaneseniâspomoŝʹûemkostnogodatčika |