Buchumschlag

Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика

A capacitive sensor with a grid or perforated structure is proposed for monitoring coating thickness in vacuum. The method is based on the dependence of capacitor capacitance on the distance between its plates: during material deposition, the capacitance is measured, and its increment indicates the...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Istomin, A. S., Semenov, E. I.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Schlagworte:	автоматизация емкостной датчик толщина пленки тонкие пленки компьютерная система контроля
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
von: Марченков, В.В.
Veröffentlicht: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
von: Ковалев, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
von: Gasparov, V.A.
Veröffentlicht: (2011)

Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
von: Оноприенко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние микроструктуры вакуумных конденсатов никеля на их прочностные свойства
von: Устинов, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
von: Куликовский, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Магнітокеровані наноструктурні матеріали та їхня взаємодія з нуклеїновими кислотами
von: Семко, Л.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
von: Бувайло, А.І., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
von: Баран, Л.В.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
von: Порада, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
von: Куликовський, B.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структура и свойства композиционных никелевых покрытий, полученных с помощью программируемого импульсного тока
von: Заблудовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

О механизме уменьшения трения наноразмерных многослойных покрытий
von: Григорьев, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние частиц ультрадисперсных алмазов на структуру и свойства электролитических никелевых покрытий
von: Титаренко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Bobrenko, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структура ионно-плазменных покрытий из высокоэнтропийного сплава AlFeNiCoCuCr
von: Надутов, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Обоснование механоплазменного эффекта, возникающего в процессе механической обработки металла в смазочно-охлаждающих технологических средствах
von: Сошко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. I. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на стали 45
von: Тарельник, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. II. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах твёрдыми износостойкими и мягкими
von: Тарельник, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
von: Maximenko, L. S., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Упрочнение поверхностного слоя алюминиевого сплава АМг6 с помощью комбинированной электроискровой и ультразвуковой ударной обработки
von: Прокопенко, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Мёссбауэровская спектроскопия поверхностного слоя титанового сплава ВТ6, модифицированного ультразвуковой ударной деформацией
von: Польшин, Э.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001)
von: Шаміс, М.Н., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Зміцнення поверхні сталі 45 йонним азотуванням у геліконному розряді
von: Руденко, Е.М., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Mechanical and Structural Studies of Ternary Mo–Zr–N Layers Deposited on Substrate by PVD
von: Abboudi, Abdelaziz, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
von: Заблудовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Магнетні та магнеторезистивні властивості плівок феромагнетних металів
von: Воробйов, С.І., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Вплив хеміко-термічного оброблення на топографію поверхні титану
von: Погрелюк, І.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Эффект Фарадея в тонких плёнках металлов Fe, Co, Ni на подложках из полиэтилентерефталата
von: Шаповал, К.О., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Температурно-регулируемое межслойное обменное взаимодействие в многослойной структуре Ni₈₀Fe₂₀/Ni₄₀Cu₆₀/Co₉₀Fe₁₀/Mn₈₀Ir₂₀
von: Кравец, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
von: Rudenko, E.M., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді
von: Петрушенко, С.І., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Образование переходного диффузионного слоя "покрытие—подложка" при электрокристаллизации
von: Штапенко, Э.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Роль рекристаллизации вольфрама в формировании шероховатости его поверхности под влиянием последовательного воздействия нейтронов и распыления
von: Беляева, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
von: Коман, Б.П., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние активных химических элементов смазочно-охлаждающих жидкостей на свойства поверхностных слоёв деформированного железа. II. Электронная структура и характер межатомных связей приграничных областей зёрен и их фрагментов
von: Тихонович, В.В.
Veröffentlicht: (2016)