Buchumschlag

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей

The results of plasma-chemical etching (PCE) of the surface of photovoltaic converter (PVC) wafers, pre-structured by chemical etching, are presented. PCE was carried out in a plasma-chemical reactor using a mixture of sulfur hexafluoride (SF₆) and 10% oxygen. Mass spectrometry demonstrated high eff...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotyuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomsky, D. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Schlagworte:	фотоэлектрические преобразователи плазмохимическое травление плазмохимический реактор
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.52
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
von: Maronchuk, I. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
von: Dudin, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
von: Boltovets, M. S., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей при перегреве
von: Иванченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Изменения характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей после токовых перегрузок
von: Иванченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
von: Дудин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Технологический аспект повышения эффективности полупроводниковых фотоэлектрических преобразователей
von: Курак, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Yerokhov, V. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Ерохов, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ПЕРЕНАПРУГИ В АНОРМАЛЬНИХ РЕЖИМАХ ЛІНІЇ ЕЛЕКТРОПЕРЕДАЧІ НАДВИСОКОЇ НАПРУГИ
von: Кузнецов, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Производство фотоэлектрических преобразователей и рынок кремниевого сырья в 2006—2010 гг.
von: Наумов, А.В.
Veröffentlicht: (2006)

Гетеропереход на основе кристалла FeIn₂Se₄, полученного методом Бриджмена
von: Kovalyuk, Z. D., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K2Cr2O7–HBr
von: Pavlovich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
von: Полтавцев, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Фотоэлектрические параметры гетеропереходов SnS₂–хSeₓ–InSe (0≤х≤1)
von: Katerinchuk, V. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
von: Городний , А.Н.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование и повышение стабильности работы операционных усилителей в схемах драйверов емкостных сенсоров
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
von: Gnilenko, A. B., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование фотоэлектрических характеристик микрофототерминала
von: Karimov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
von: Voronin, V. O., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
von: Andronova, О. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ПРИМЕНЕНИЕ ТЕОРИИ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ С ИМПУЛЬСНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ К АНАЛИЗУ ПРОЦЕССОВ В ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ НАПРЯЖЕНИЯ
von: Шидловская , Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Особенности фотоэлектрических характеристик фотоэлектропреобразовательных структур
von: Karimov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Особенности фотоэлектрических характеристик фотоэлектропреобразовательных структур
von: Каримов, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
von: Дяденчук, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Микроволновая обработка диэлектрических материалов в нерезонансных системах
von: Demyanchuk, B. A.
Veröffentlicht: (2010)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Анализ эффективности фотоэлектрических систем коммунального назначения
von: Карпенко, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Особенности изготовления Cd1–xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
von: Tomashik, Z. F., et al.
Veröffentlicht: (2013)

ХІМІЧНЕ ЗВ’ЯЗУВАННЯ ДІОКСИДУ СІРКИ У БАРБОТАЖНОМУ РЕАКТОРІ З ВИКОРИСТАННЯМ СЕЧОВИНИ
von: KOLOMIIETS, O.
Veröffentlicht: (2023)

Особенности структурных превращений при спекании нанодисперсного монофазного порошка нитрида титана плазмохимического синтеза
von: Кайдаш, О.Н.
Veröffentlicht: (2010)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
von: Gorban, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Материалы для преобразования электромагнитной энергии в тепловую: требования, технология
von: Demyanchuk, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)