Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
The results of plasma-chemical etching (PCE) of the surface of photovoltaic converter (PVC) wafers, pre-structured by chemical etching, are presented. PCE was carried out in a plasma-chemical reactor using a mixture of sulfur hexafluoride (SF₆) and 10% oxygen. Mass spectrometry demonstrated high eff...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.52 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Maronchuk, I. E., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Maronchuk, I. E., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2011)
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)
Условия получения полых кремниевых призм для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Масенко, Б.П.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Масенко, Б.П.
Опубліковано: (2002)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Исследование характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей при перегреве
за авторством: Иванченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Иванченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2018)
Изменения характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей после токовых перегрузок
за авторством: Иванченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Иванченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2019)
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2006)
Технологический аспект повышения эффективности полупроводниковых фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Курак, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Курак, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)
Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогрессивные методы повышения и контроля времени жизни неравновесных неосновных носителей заряда в базовых кристаллах для высокоэффективных кремниевых фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Кириченко, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кириченко, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Ерохов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ерохов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Конструкции и принципы работы фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Чернышов, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Чернышов, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2018)
Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
ПЕРЕНАПРУГИ В АНОРМАЛЬНИХ РЕЖИМАХ ЛІНІЇ ЕЛЕКТРОПЕРЕДАЧІ НАДВИСОКОЇ НАПРУГИ
за авторством: Кузнецов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Кузнецов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2012)
Производство фотоэлектрических преобразователей и рынок кремниевого сырья в 2006—2010 гг.
за авторством: Наумов, А.В.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Наумов, А.В.
Опубліковано: (2006)
Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
Гетеропереход на основе кристалла FeIn₂Se₄, полученного методом Бриджмена
за авторством: Kovalyuk, Z. D., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Kovalyuk, Z. D., та інші
Опубліковано: (2007)
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K2Cr2O7–HBr
за авторством: Pavlovich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Pavlovich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
Фотоэлектрические параметры гетеропереходов SnS₂–хSeₓ–InSe (0≤х≤1)
за авторством: Katerinchuk, V. N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Katerinchuk, V. N., та інші
Опубліковано: (2006)
АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
за авторством: Городний , А.Н.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Городний , А.Н.
Опубліковано: (2012)
Исследование и повышение стабильности работы операционных усилителей в схемах драйверов емкостных сенсоров
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)
Потенциальная точность фотоэлектрических цифровых преобразователей перемещений на основе синусно-косинусных растровых интерполяторов с учетом технологических ограничений
за авторством: Габидулин, М.А.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Габидулин, М.А.
Опубліковано: (2010)
Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
за авторством: Voronin, V. O., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Voronin, V. O., та інші
Опубліковано: (2006)
ПРИМЕНЕНИЕ ТЕОРИИ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ С ИМПУЛЬСНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ К АНАЛИЗУ ПРОЦЕССОВ В ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ НАПРЯЖЕНИЯ
за авторством: Шидловская , Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Шидловская , Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование фотоэлектрических характеристик микрофототерминала
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2006)
Синтез и анализ блочно-модульных структур бесконтактных тахометров постоянного тока на основе схемотехники фотоэлектрических цифровых преобразователей перемещений
за авторством: Габидулин, М.А.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Габидулин, М.А.
Опубліковано: (2012)
Особенности фотоэлектрических характеристик фотоэлектропреобразовательных структур
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
за авторством: Гниленко, А.Б., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Гниленко, А.Б., та інші
Опубліковано: (2012)
Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
за авторством: Andronova, О. V., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Andronova, О. V., та інші
Опубліковано: (2008)
Микроволновая обработка диэлектрических материалов в нерезонансных системах
за авторством: Demyanchuk, B. A.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Demyanchuk, B. A.
Опубліковано: (2010)