Buchumschlag

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей

The results of plasma-chemical etching (PCE) of the surface of photovoltaic converter (PVC) wafers, pre-structured by chemical etching, are presented. PCE was carried out in a plasma-chemical reactor using a mixture of sulfur hexafluoride (SF₆) and 10% oxygen. Mass spectrometry demonstrated high eff...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotyuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomsky, D. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Schlagworte:	фотоэлектрические преобразователи плазмохимическое травление плазмохимический реактор
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.52
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
von: Borisenko, A. G., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
von: Maronchuk, I. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
von: Dudin, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
von: Boltovets, M. S., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Условия получения полых кремниевых призм для фотоэлектрических преобразователей
von: Масенко, Б.П.
Veröffentlicht: (2002)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей при перегреве
von: Иванченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Изменения характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей после токовых перегрузок
von: Иванченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
von: Дудин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2006)

Технологический аспект повышения эффективности полупроводниковых фотоэлектрических преобразователей
von: Курак, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Yerokhov, V. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогрессивные методы повышения и контроля времени жизни неравновесных неосновных носителей заряда в базовых кристаллах для высокоэффективных кремниевых фотоэлектрических преобразователей
von: Кириченко, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Ерохов, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Конструкции и принципы работы фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Чернышов, Н.Н., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
von: Najafov, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
von: Ivanchikov, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2003)

ПЕРЕНАПРУГИ В АНОРМАЛЬНИХ РЕЖИМАХ ЛІНІЇ ЕЛЕКТРОПЕРЕДАЧІ НАДВИСОКОЇ НАПРУГИ
von: Кузнецов, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Производство фотоэлектрических преобразователей и рынок кремниевого сырья в 2006—2010 гг.
von: Наумов, А.В.
Veröffentlicht: (2006)

Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
von: Марончук, И.Е., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Гетеропереход на основе кристалла FeIn₂Se₄, полученного методом Бриджмена
von: Kovalyuk, Z. D., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Проблемы создания системы глобального дистанционного зондирования Земли в ИК-диапазоне
von: Formozov, B. N.
Veröffentlicht: (2004)

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
von: Полтавцев, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
von: Poltavtsev, Yu. G., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K2Cr2O7–HBr
von: Pavlovich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
von: Городний , А.Н.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование и повышение стабильности работы операционных усилителей в схемах драйверов емкостных сенсоров
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Фотоэлектрические параметры гетеропереходов SnS₂–хSeₓ–InSe (0≤х≤1)
von: Katerinchuk, V. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
von: Voronin, V. O., et al.
Veröffentlicht: (2006)

ПРИМЕНЕНИЕ ТЕОРИИ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ С ИМПУЛЬСНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ К АНАЛИЗУ ПРОЦЕССОВ В ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ НАПРЯЖЕНИЯ
von: Шидловская , Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
von: Gnilenko, A. B., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Потенциальная точность фотоэлектрических цифровых преобразователей перемещений на основе синусно-косинусных растровых интерполяторов с учетом технологических ограничений
von: Габидулин, М.А.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование фотоэлектрических характеристик микрофототерминала
von: Karimov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Синтез и анализ блочно-модульных структур бесконтактных тахометров постоянного тока на основе схемотехники фотоэлектрических цифровых преобразователей перемещений
von: Габидулин, М.А.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
von: Гниленко, А.Б., et al.
Veröffentlicht: (2012)