Зображення обкладинки

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей

The results of plasma-chemical etching (PCE) of the surface of photovoltaic converter (PVC) wafers, pre-structured by chemical etching, are presented. PCE was carried out in a plasma-chemical reactor using a mixture of sulfur hexafluoride (SF₆) and 10% oxygen. Mass spectrometry demonstrated high eff...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotyuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomsky, D. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Теми:	фотоэлектрические преобразователи плазмохимическое травление плазмохимический реактор
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.52
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Maronchuk, I. E., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2011)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)

Исследование характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей при перегреве
за авторством: Иванченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Изменения характеристик кремниевых фотоэлектрических преобразователей солнечных батарей после токовых перегрузок
за авторством: Иванченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2019)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Технологический аспект повышения эффективности полупроводниковых фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Курак, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Ерохов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

ПЕРЕНАПРУГИ В АНОРМАЛЬНИХ РЕЖИМАХ ЛІНІЇ ЕЛЕКТРОПЕРЕДАЧІ НАДВИСОКОЇ НАПРУГИ
за авторством: Кузнецов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2012)

Производство фотоэлектрических преобразователей и рынок кремниевого сырья в 2006—2010 гг.
за авторством: Наумов, А.В.
Опубліковано: (2006)

Гетеропереход на основе кристалла FeIn₂Se₄, полученного методом Бриджмена
за авторством: Kovalyuk, Z. D., та інші
Опубліковано: (2007)

Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K2Cr2O7–HBr
за авторством: Pavlovich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)

Фотоэлектрические параметры гетеропереходов SnS₂–хSeₓ–InSe (0≤х≤1)
за авторством: Katerinchuk, V. N., та інші
Опубліковано: (2006)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
за авторством: Городний , А.Н.
Опубліковано: (2012)

Исследование и повышение стабильности работы операционных усилителей в схемах драйверов емкостных сенсоров
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование фотоэлектрических характеристик микрофототерминала
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2006)

Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
за авторством: Voronin, V. O., та інші
Опубліковано: (2006)

Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
за авторством: Andronova, О. V., та інші
Опубліковано: (2008)

ПРИМЕНЕНИЕ ТЕОРИИ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ С ИМПУЛЬСНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ К АНАЛИЗУ ПРОЦЕССОВ В ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ НАПРЯЖЕНИЯ
за авторством: Шидловская , Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Особенности фотоэлектрических характеристик фотоэлектропреобразовательных структур
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Особенности фотоэлектрических характеристик фотоэлектропреобразовательных структур
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Микроволновая обработка диэлектрических материалов в нерезонансных системах
за авторством: Demyanchuk, B. A.
Опубліковано: (2010)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
за авторством: Журавлев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Анализ эффективности фотоэлектрических систем коммунального назначения
за авторством: Карпенко, Д.С., та інші
Опубліковано: (2016)

Особенности изготовления Cd1–xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
за авторством: Tomashik, Z. F., та інші
Опубліковано: (2013)

ХІМІЧНЕ ЗВ’ЯЗУВАННЯ ДІОКСИДУ СІРКИ У БАРБОТАЖНОМУ РЕАКТОРІ З ВИКОРИСТАННЯМ СЕЧОВИНИ
за авторством: KOLOMIIETS, O.
Опубліковано: (2023)

Особенности структурных превращений при спекании нанодисперсного монофазного порошка нитрида титана плазмохимического синтеза
за авторством: Кайдаш, О.Н.
Опубліковано: (2010)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)

Материалы для преобразования электромагнитной энергии в тепловую: требования, технология
за авторством: Demyanchuk, B. A., та інші
Опубліковано: (2006)

Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)