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Genesis of initial defects in the process of monocrystalline silicon oxidation with subsequent scribing

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2010
Hauptverfasser:	V. A. Smyntyna, O. V. Sviridova
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2010
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000349129
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